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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 文献解析 » 【请教】单晶硅生长过程中的一些问题
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Lavinia2067

木虫 (著名写手)

[交流] 【请教】单晶硅生长过程中的一些问题 已有7人参与

本人从事单晶硅生长工艺改善工作，但是在日常的学习工作中遇到一些问题，希望能和大家探讨交流一下。
      第一：晶体生长过程中如何确保子晶与熔硅接触面上温度是稳定的，以便于长出完好的单晶？

      第二：单晶硅棒在提拉过程中直径粗细不均，即便热场稳定，这是什么原因造成的？
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1楼 2010-10-09 11:13:43
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heyan1602

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
第一：确保不了温度稳定，只能尽量稳定
第二：与温场与提拉速度有关，所以要随时观察。
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2楼2010-10-09 11:22:55
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bedfordzx

新虫 (初入文坛)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
lichun1210(金币+1): 感谢回帖交流！ 2012-01-02 22:31:28
恩，同意一楼的说法。温度稳定和热场材料的加热、保温性能有很大关系，还有就是工艺参数的设定了吧
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3楼2012-01-02 22:01:25
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lichun1210

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
我没有长过单晶硅，从激光晶体方面考虑，温度的变化程度，合理的工艺参数~
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让世界关注中国晶体，让中国晶体走向世界
4楼2012-01-02 22:31:11
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lxxiangyong
5楼2012-03-14 20:01:24
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chenccs

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1、热屏材料、保温材料。
2、保证合适的温度梯度和拉速相匹配。
3、可以调节PID参数，使其反应灵敏。
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6楼2012-04-04 19:11:30
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mlzwm

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
想问下，你是用区熔法生长的单晶硅吗？那么在预热后，硅棒的温度为多少呢
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7楼2013-04-16 21:58:19
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sucurse

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
1、良好的热场温梯，加上较好的热场保温性能，合适的液口距都是先决条件。
2、拉速、手动干预频次，pid参数设置是否合理，拉速高低都是影响直径控制的。
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8楼2014-05-14 22:02:12
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