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【资源】气相沉积书籍——Handbook of Physical Vapor Deposition
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HANDBOOK OF PHYSICAL VAPOR DEPOSITION (PVD) PROCESSING Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control by Donald M. Mattox Society of Vacuum Coaters Albuquerque, New Mexico http://ishare.iask.sina.com.cn/f/10077824.html |
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