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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问下北京哪里可以做电子束曝光系统（EBL）或者聚焦离子束（FIB）？
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wdliwei

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问下北京哪里可以做电子束曝光系统（EBL）或者聚焦离子束（FIB）？ 已有4人参与

想在在硅片上做几条金属沉积带，但是缝隙不超过1微米。

实验卡在这里着实难过，希望了解这方面知识的同学老师帮帮忙，不胜感激。
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1楼 2010-09-15 10:47:47
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wdliwei

铁杆木虫 (小有名气)
非常感谢楼上，但是希望可以具体一点，如有联系方式最好。
要求最好能精确一点，缝隙必须小于1微米。

[ Last edited by wdliwei on 2010-9-15 at 17:10 ]
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3楼2010-09-15 17:09:06
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perwrinkle

银虫 (小有名气)
wdliwei(金币+5):谢谢，只是能具体一点吗？能有联系方式最好。 2010-09-15 17:04:18
其实如果要求没有那么精确的话，1微米左右的紫外光刻就能做
如果一定要EBL或者FIB的话，北京科研学校类的有四个地方吧
中科院物理所，半导体所，微电子所和清华
企业研究院的话我知道的中兴也可以做
其他的就不清楚了。。。

[ Last edited by perwrinkle on 2010-9-15 at 14:52 ]
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2楼2010-09-15 14:51:35
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czzzzz

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by perwrinkle at 2010-09-15 14:51:35
其实如果要求没有那么精确的话，1微米左右的紫外光刻就能做
如果一定要EBL或者FIB的话，北京科研学校类的有四个地方吧
中科院物理所，半导体所，微电子所和清华
企业研究院的话我知道的中兴也可以做
其他的就不 ...

您好！我也在咨询这个问题，感谢您的帮助！
不过您说“中兴也可以做”，我想是无意打错字了吧？您所指的应该是SMIC，中芯国际。中兴通讯好像不做工艺。。。
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4楼2013-06-17 10:49:01
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njbee

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
supernatural: 编辑内容 2013-12-13 18:13
你好，请问你最后做出来了吗？是在哪个单位做的？能不能站内给一下联系方式，谢谢。

[ Last edited by supernatural on 2013-12-13 at 18:13 ]
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5楼2013-12-12 16:54:11
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