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wdliwei

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问下北京哪里可以做电子束曝光系统(EBL)或者聚焦离子束(FIB)? 已有4人参与

想在在硅片上做几条金属沉积带,但是缝隙不超过1微米。

实验卡在这里着实难过,希望了解这方面知识的同学老师帮帮忙,不胜感激。
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perwrinkle

银虫 (小有名气)

wdliwei(金币+5):谢谢,只是能具体一点吗?能有联系方式最好。 2010-09-15 17:04:18
其实如果要求没有那么精确的话,1微米左右的紫外光刻就能做
如果一定要EBL或者FIB的话,北京科研学校类的有四个地方吧
中科院物理所,半导体所,微电子所和清华
企业研究院的话我知道的中兴也可以做
其他的就不清楚了。。。

[ Last edited by perwrinkle on 2010-9-15 at 14:52 ]
2楼2010-09-15 14:51:35
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