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wdliwei

铁杆木虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问下北京哪里可以做电子束曝光系统(EBL)或者聚焦离子束(FIB)? 已有4人参与

想在在硅片上做几条金属沉积带,但是缝隙不超过1微米。

实验卡在这里着实难过,希望了解这方面知识的同学老师帮帮忙,不胜感激。
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perwrinkle

银虫 (小有名气)

wdliwei(金币+5):谢谢,只是能具体一点吗?能有联系方式最好。 2010-09-15 17:04:18
其实如果要求没有那么精确的话,1微米左右的紫外光刻就能做
如果一定要EBL或者FIB的话,北京科研学校类的有四个地方吧
中科院物理所,半导体所,微电子所和清华
企业研究院的话我知道的中兴也可以做
其他的就不清楚了。。。

[ Last edited by perwrinkle on 2010-9-15 at 14:52 ]
2楼2010-09-15 14:51:35
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wdliwei

铁杆木虫 (小有名气)

非常感谢楼上,但是希望可以具体一点,如有联系方式最好。
要求最好能精确一点,缝隙必须小于1微米。

[ Last edited by wdliwei on 2010-9-15 at 17:10 ]
3楼2010-09-15 17:09:06
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czzzzz

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
2楼: Originally posted by perwrinkle at 2010-09-15 14:51:35
其实如果要求没有那么精确的话,1微米左右的紫外光刻就能做
如果一定要EBL或者FIB的话,北京科研学校类的有四个地方吧
中科院物理所,半导体所,微电子所和清华
企业研究院的话我知道的中兴也可以做
其他的就不 ...

您好!我也在咨询这个问题,感谢您的帮助!
不过您说“中兴也可以做”,我想是无意打错字了吧?您所指的应该是SMIC,中芯国际。中兴通讯好像不做工艺。。。
4楼2013-06-17 10:49:01
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njbee

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
supernatural: 编辑内容 2013-12-13 18:13
你好,请问你最后做出来了吗?是在哪个单位做的?能不能站内给一下联系方式,谢谢。

[ Last edited by supernatural on 2013-12-13 at 18:13 ]
5楼2013-12-12 16:54:11
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120100138

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
北京理化公司有电子束曝光,可以咨询他们的工程师info@phychemi.com
好好学习天天向上
6楼2014-10-15 16:41:30
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chuss2012

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我这里可以做,可以联系。
7楼2016-01-21 16:44:07
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