24小时热门版块排行榜    

查看: 1842  |  回复: 7

dingyonghui

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TiO2薄膜的制备问题 已有6人参与

最近在用对pre-sputtering Ti film (substrate is Si wafer)进行空气中退火的方法制备TiO2薄膜,但是发现在空气中700C,1h 退火后,sample的表面总是有脏东西似的,有些颜色与其他地方不同的点~~不知道是怎么回事?
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:

Biomaterials
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):欢迎讨论! 2010-09-07 16:01:39
周围环境是否干净?在高温下如果周围有脏东西很容易粘上去的
2楼2010-08-29 20:48:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dingyonghui

铜虫 (小有名气)


americanyk(金币+1):Under nitrogen or argon protection 2010-09-07 16:02:19
shileinjut:欢迎交流! 2010-11-22 16:30:02
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能,但是现在又有个问题是,对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来,不被污染呢?我想了好久,没想出一个好办法~~
Biomaterials
3楼2010-09-07 22:46:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):谢谢回帖交流 2010-09-08 10:00:28
americanyk:编辑内容 2010-09-08 10:00
shileinjut:欢迎交流! 2010-11-22 16:30:10
引用回帖:
Originally posted by dingyonghui at 2010-09-07 22:46:37:
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能,但是现在又有个问题是,对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来,不被污染呢?我想了好久,没想出一个好办法~~

你可以考虑用管式炉,高温下在氮气或其它保护气体氛围中进行锻烧.

[ Last edited by americanyk on 2010-9-8 at 10:00 ]
4楼2010-09-08 08:54:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wood736

新虫 (初入文坛)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
shileinjut(金币+1):谢谢参与讨论! 2010-10-22 09:37:45
americanyk(金币+1):welcome 新虫 2010-11-22 15:57:44
shileinjut:欢迎交流! 2010-11-22 16:30:15
可以在正压充氩气的环境下锻烧
5楼2010-10-18 08:42:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
americanyk:Please follow the rule 2010-11-22 15:57:57
shileinjut:欢迎交流! 2010-11-22 16:30:18
6楼2010-11-22 12:40:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

absyonge

禁虫 (著名写手)

★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
yusen_1982(金币+1):欢迎讨论! 2010-11-23 19:51:31
yusen_1982(金币+1):欢迎新虫! 2010-11-23 19:51:43
本帖内容被屏蔽

7楼2010-11-23 14:05:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ymshen1980

铜虫 (小有名气)


mwyuer: 金币+1, 感谢回帖交流 2012-05-17 13:03:35
用上下两个表面皿把样品保护起来
8楼2012-05-17 10:39:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 dingyonghui 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜? +9 Ldrop2023 2026-08-13 9/450 2026-08-16 13:24 by wukun_007
[基金申请] 欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律 +32 医学老男孩 2026-08-13 72/3600 2026-08-16 13:15 by 医学老男孩
[基金申请] 有时候,自然基金真的不能太认真 (我的申报经验) +10 majunge000 2026-08-11 12/600 2026-08-16 08:18 by xli1984
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +12 archvillain 2026-08-15 23/1150 2026-08-15 20:47 by foyo404
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +6 wangze12014 2026-08-14 7/350 2026-08-15 20:12 by gltch
[基金申请] 各位道友,我要去昆明玩几天,回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果? +4 yuleib84 2026-08-11 4/200 2026-08-14 23:05 by lfy8008
[基金申请] 奇怪,两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[硕博家园] 请教兼职经验 +3 是阿文鸭 2026-08-09 3/150 2026-08-14 12:07 by HER12025
[基金申请] FileCode能看出啥? +10 要乐观耀哥 2026-08-10 32/1600 2026-08-14 09:37 by 要乐观耀哥
[基金申请] 重要来源:本周末出结果 +10 瞬息宇宙 2026-08-12 10/500 2026-08-13 15:46 by likettle
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +4 布布和一二 2026-08-11 5/250 2026-08-13 12:56 by cratir
[基金申请] 帮忙看看fileCode +7 wwncly 2026-08-10 13/650 2026-08-11 19:36 by 冰心玉壶晴
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 什么时候出结果,有咨询渠道??? +3 Tide man 2026-08-11 3/150 2026-08-11 17:54 by kudofaye
[基金申请] 确定了,国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 国自然结果 +4 Vierhys 2026-08-10 8/400 2026-08-10 15:06 by Vierhys
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
信息提示
请填处理意见