应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 生物材料 » 金属生物材料 » 【求助】TiO2薄膜的制备问题
51/1返回列表
查看: 1638  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dingyonghui

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TiO2薄膜的制备问题 已有6人参与

最近在用对pre-sputtering Ti film (substrate is Si wafer)进行空气中退火的方法制备TiO2薄膜，但是发现在空气中700C,1h 退火后，sample的表面总是有脏东西似的，有些颜色与其他地方不同的点~~不知道是怎么回事？
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
Biomaterials
1楼 2010-08-29 15:44:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dingyonghui

铜虫 (小有名气)
★
americanyk(金币+1):Under nitrogen or argon protection 2010-09-07 16:02:19
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:02
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能，但是现在又有个问题是，对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来，不被污染呢？我想了好久，没想出一个好办法~~
赞一下(2人) 回复此楼
Biomaterials
3楼2010-09-07 22:46:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):欢迎讨论！ 2010-09-07 16:01:39
周围环境是否干净？在高温下如果周围有脏东西很容易粘上去的
赞一下(2人) 回复此楼
2楼2010-08-29 20:48:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):谢谢回帖交流 2010-09-08 10:00:28
americanyk:编辑内容 2010-09-08 10:00
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:10
引用回帖:
Originally posted by dingyonghui at 2010-09-07 22:46:37:
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能，但是现在又有个问题是，对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来，不被污染呢？我想了好久，没想出一个好办法~~

你可以考虑用管式炉，高温下在氮气或其它保护气体氛围中进行锻烧.

[ Last edited by americanyk on 2010-9-8 at 10:00 ]
赞一下(3人) 回复此楼
4楼2010-09-08 08:54:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wood736

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
shileinjut(金币+1):谢谢参与讨论！ 2010-10-22 09:37:45
americanyk(金币+1):welcome 新虫 2010-11-22 15:57:44
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:15
可以在正压充氩气的环境下锻烧
赞一下(4人) 回复此楼
5楼2010-10-18 08:42:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭