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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 生物材料 » 金属生物材料 » 【求助】TiO2薄膜的制备问题
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dingyonghui

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TiO2薄膜的制备问题 已有6人参与

最近在用对pre-sputtering Ti film (substrate is Si wafer)进行空气中退火的方法制备TiO2薄膜，但是发现在空气中700C,1h 退火后，sample的表面总是有脏东西似的，有些颜色与其他地方不同的点~~不知道是怎么回事？
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Biomaterials
1楼 2010-08-29 15:44:13
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dingyonghui

铜虫 (小有名气)
★
americanyk(金币+1):Under nitrogen or argon protection 2010-09-07 16:02:19
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:02
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能，但是现在又有个问题是，对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来，不被污染呢？我想了好久，没想出一个好办法~~
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Biomaterials
3楼2010-09-07 22:46:37
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梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):欢迎讨论！ 2010-09-07 16:01:39
周围环境是否干净？在高温下如果周围有脏东西很容易粘上去的
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2楼2010-08-29 20:48:52
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梦想与现实共舞

木虫 (正式写手)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
americanyk(金币+1):谢谢回帖交流 2010-09-08 10:00:28
americanyk:编辑内容 2010-09-08 10:00
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:10
引用回帖:
Originally posted by dingyonghui at 2010-09-07 22:46:37:
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能，但是现在又有个问题是，对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来，不被污染呢？我想了好久，没想出一个好办法~~

你可以考虑用管式炉，高温下在氮气或其它保护气体氛围中进行锻烧.

[ Last edited by americanyk on 2010-9-8 at 10:00 ]
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4楼2010-09-08 08:54:19
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wood736

新虫 (初入文坛)
★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
shileinjut(金币+1):谢谢参与讨论！ 2010-10-22 09:37:45
americanyk(金币+1):welcome 新虫 2010-11-22 15:57:44
shileinjut:欢迎交流！ 2010-11-22 16:30:15
可以在正压充氩气的环境下锻烧
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5楼2010-10-18 08:42:39
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