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dingyonghui

铜虫 (小有名气)

[交流] 【求助】TiO2薄膜的制备问题已有6人参与

最近在用对pre-sputtering Ti film (substrate is Si wafer)进行空气中退火的方法制备TiO2薄膜,但是发现在空气中700C,1h 退火后,sample的表面总是有脏东西似的,有些颜色与其他地方不同的点~~不知道是怎么回事?
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Biomaterials
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dingyonghui

铜虫 (小有名气)


americanyk(金币+1):Under nitrogen or argon protection 2010-09-07 16:02:19
shileinjut:欢迎交流! 2010-11-22 16:30:02
谢谢楼上提出的意见~~
我觉得有这个可能,但是现在又有个问题是,对于一个4寸的wafer 我怎么在700C退火时将其表面保护起来,不被污染呢?我想了好久,没想出一个好办法~~
Biomaterials
3楼2010-09-07 22:46:37
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