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renart306

木虫 (正式写手)

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[交流] 【求助】硅片的慢速腐蚀

我用激光等离子体刻蚀得到一些多晶硅片，表面有一些锐利的尖峰结构，现在想通过腐蚀的方法把尖峰变低，就是去掉最尖端，得到一些圆滑尖峰，反应速度最好慢一点，可控，不知道大家有什么办法没有

我试过用NH4F+HF, 30%:6%，效果不明显

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1楼 2010-08-10 17:05:26

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