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[交流]
【求助】硅片的慢速腐蚀
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我用激光等离子体刻蚀得到一些多晶硅片，表面有一些锐利的尖峰结构，现在想通过腐蚀的方法把尖峰变低，就是去掉最尖端，得到一些圆滑尖峰，反应速度最好慢一点，可控，不知道大家有什么办法没有 我试过用NH4F+HF, 30%:6%，效果不明显 |
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