应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】请问一个利用ICP刻蚀PI的方法
81/1返回列表
查看: 1955  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

apolloljy

银虫 (小有名气)

[交流] 【求助】请问一个利用ICP刻蚀PI的方法 已有6人参与

请教一个利用ICP刻蚀PI的方法

我的主要实验目的是在PI上光刻做出金膜图形，然后想利用PI做牺牲层采用ICP刻蚀方法将金膜图形最窄区域（2um宽）刻透（横向）。但是目前没办法测得ICP刻蚀的纵向速率与横向速率之比。主要是难于将横向刻蚀深度测得。

请问大家有谁做过PI的刻蚀没有，可有这方面的数据？金币不多。。只能提供这些了，谢谢了！

我采用的是ICP刻蚀条件：CF4：O2=10：50（流量比），压力0.4Pa，上电极300w，下电极100w，偏压200V。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2010-08-06 17:53:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bnuphy

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
PI是什麽？
回复此楼
2楼2010-08-11 09:11:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rock19850817

铜虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by bnuphy at 2010-08-11 09:11:42:
PI是什麽？

聚酰亚胺
回复此楼
3楼2010-08-27 16:58:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jipin129

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
搭车询问，哪里能做金属刻蚀啊
赞一下(2人) 回复此楼
4楼2010-08-30 00:12:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yccycc

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
引用回帖:
Originally posted by bnuphy at 2010-08-11 09:11:42:
PI是什麽？

应该说的是polyimide
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2010-08-30 02:38:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yccycc

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
没怎么看懂LZ的描述

我用ICP etch polyimide只用氧气就可以了，6分钟可以刻蚀1 micron的PI

用240V的电压产生plasma，150V的bias

BTW，不同型号的PI刻蚀条件会有区别
赞一下(1人) 回复此楼
6楼2010-08-30 02:42:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

紫炎羊儿

银虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by yccycc at 2010-08-30 02:42:58
没怎么看懂LZ的描述

我用ICP etch polyimide只用氧气就可以了，6分钟可以刻蚀1 micron的PI

用240V的电压产生plasma，150V的bias

BTW，不同型号的PI刻蚀条件会有区别

想问你用的是什么型号的刻蚀PI？
赞一下 回复此楼
7楼2013-12-20 22:18:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

damuchongzi

铁杆木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
聚合物做牺牲层的释放方法最好用RF O2等离子体灰化炉来干。用2.45GHz源，几十秒2umPI就干净了。
赞一下 回复此楼
8楼2013-12-30 12:21:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 apolloljy 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 268求调剂 +7 好运连绵不绝 2026-03-12 8/400 2026-03-17 20:28 by xilongliang
[考研] 材料与化工求调剂 +6 为学666 2026-03-16 6/300 2026-03-17 20:15 by peike
[考研] 277调剂 +5 自由煎饼果子 2026-03-16 6/300 2026-03-17 19:26 by 李leezz
[考研] 344求调剂 +4 knight344 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:27 by ruiyingmiao
[考研] 274求调剂0856材料化工 +13 z2839474511 2026-03-11 14/700 2026-03-17 16:51 by share_joy
[考研] 26考研求调剂 +6 丶宏Sir 2026-03-13 6/300 2026-03-17 16:13 by 醉在风里
[考研] 求调剂，总分315，考的生物医药，一志愿湖南师范大学。调剂到任何专业都可以 +4 小丁想进步 2026-03-11 5/250 2026-03-17 16:05 by 外星文明
[考研] 一志愿苏州大学材料工程（085601）专硕有科研经历三项国奖两个实用型专利一项省级立项 +6 大火山小火山 2026-03-16 8/400 2026-03-17 15:05 by 无懈可击111
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +5 薛云鹏 2026-03-13 5/250 2026-03-17 10:15 by Sammy2
[论文投稿] 有没有大佬发小论文能带我个二作 +3 增锐漏人 2026-03-17 4/200 2026-03-17 09:26 by xs74101122
[考研] 化学调剂0703 +8 啊我我的 2026-03-11 8/400 2026-03-16 17:23 by 我的船我的海
[考研] 304求调剂 +4 ahbd 2026-03-14 4/200 2026-03-16 16:48 by 我的船我的海
[考研] 0703一志愿211 285分求调剂 +5 ly3471z 2026-03-13 5/250 2026-03-16 16:16 by 哦哦123
[考研] 277材料科学与工程080500求调剂 +3 自由煎饼果子 2026-03-16 3/150 2026-03-16 14:10 by 运气yunqi
[教师之家] 焦虑 +7 水冰月月野兔 2026-03-13 9/450 2026-03-16 10:00 by Quakerbird
[考研] 材料与化工（0856）304求B区调剂 +6 邱gl 2026-03-12 7/350 2026-03-13 23:24 by 邱gl
[考研] 0703化学调剂 +4 快乐的香蕉 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:41 by JourneyLucky
[考研] 0703化学一志愿211 总分320求调剂 +5 玛卡巴卡啊哈 2026-03-11 5/250 2026-03-13 21:40 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +9 2026调剂侠 2026-03-12 9/450 2026-03-13 20:46 by 18595523086
[考研] 311求调剂 +3 冬十三 2026-03-13 3/150 2026-03-13 20:41 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭