| 查看: 2236 | 回复: 7 | |||
apolloljy银虫 (小有名气)
|
[交流]
【求助】请问一个利用ICP刻蚀PI的方法 已有6人参与
|
|
请教一个利用ICP刻蚀PI的方法 我的主要实验目的是在PI上光刻做出金膜图形，然后想利用PI做牺牲层采用ICP刻蚀方法将金膜图形最窄区域（2um宽）刻透（横向）。但是目前没办法测得ICP刻蚀的纵向速率与横向速率之比。主要是难于将横向刻蚀深度测得。 请问大家有谁做过PI的刻蚀没有，可有这方面的数据？金币不多。。只能提供这些了，谢谢了！ 我采用的是ICP刻蚀条件：CF4：O2=10：50（流量比），压力0.4Pa，上电极300w，下电极100w，偏压200V。 |
回复此楼» 猜你喜欢
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有54人回复
-
材料化学专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- ICP-AES初始化失败？
已经有12人回复
- 【求助】蚀刻（刻蚀）的目的 DSC峰代表的含义
已经有5人回复
- 【求助】请问icp-ms中最后给出的结果rjct一栏下面的false代表什么意思？？
已经有3人回复
- 【求助】ICP测试方法是否正确
已经有4人回复
- 【求助】XPS分析时采用的Ar离子刻蚀速度通常是多少呢
已经有8人回复
- 【求助】关于湿法刻蚀
已经有17人回复
- 【求助】求助 ICP前处理方法
已经有17人回复
bnuphy
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2.2
- 散金: 20
- 帖子: 126
- 在线: 42.6小时
- 虫号: 442490
- 注册: 2007-10-27
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
2楼2010-08-11 09:11:42
rock19850817
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 224.8
- 散金: 78
- 红花: 4
- 帖子: 81
- 在线: 152.3小时
- 虫号: 925821
- 注册: 2009-12-11
- 性别: GG
- 专业: 仿生材料
3楼2010-08-27 16:58:28
4楼2010-08-30 00:12:24
yccycc
木虫 (著名写手)
- 应助: 17 (小学生)
- 金币: 1921.7
- 散金: 10
- 红花: 4
- 帖子: 1076
- 在线: 64.2小时
- 虫号: 478326
- 注册: 2007-12-14
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2010-08-30 02:38:13
yccycc
木虫 (著名写手)
- 应助: 17 (小学生)
- 金币: 1921.7
- 散金: 10
- 红花: 4
- 帖子: 1076
- 在线: 64.2小时
- 虫号: 478326
- 注册: 2007-12-14
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2010-08-30 02:42:58
紫炎羊儿
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1470.5
- 散金: 5
- 红花: 1
- 帖子: 47
- 在线: 31.5小时
- 虫号: 2132418
- 注册: 2012-11-17
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类高温超导与磁
7楼2013-12-20 22:18:19
damuchongzi
铁杆木虫 (小有名气)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 14060.7
- 帖子: 81
- 在线: 97.9小时
- 虫号: 254358
- 注册: 2006-05-27
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
8楼2013-12-30 12:21:13
