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jljjlj_0

银虫 (初入文坛)

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[交流] 【求助】磁控溅射基板问题已有1人参与

我要做的是：基板-金属-陶瓷薄膜-金属结构的薄膜电容。请问，磁控溅射时选择不同的基板对淀积的金属薄膜和陶瓷薄膜分别有什么影响？？基板与金属间的过渡层如何选择？
如果要了解这些知识，有什么好的参考书么？还是全靠经验？
谢谢啦！！！

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1楼 2010-08-04 19:56:23

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ecind

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我们公司可以供应实验室磁控溅射用的玻璃原片——ITO导电玻璃的基片，表面平整度和透光性能都不错，如有需要可联系
http://www.zh-kv.com/Kaivo/Products.asp?ID=33

2楼2011-08-02 14:44:33

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