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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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gamewang

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】光刻的资料 已有2人参与

如题,请问谁有光刻的相关实验资料,具体一些的,我知道光刻的一些步骤,前烘,甩胶,后烘,曝光,显影啥的,具体的没有实验过,我想找一些具体的,比如用什么样的胶体,转速多少,用什么进行化学刻蚀等等,具体配方,谢谢
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lzb123150

新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-25 12:38:00
这个啊,上上海交大的网站就有。网上这方面的资料多了去了
努力就有收获1
2楼2011-08-25 12:28:28
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xiangnan121

至尊木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): Thank you for your information 2011-09-14 15:11:48
这个东西需要摸索的,别人的经验参数也只能作为参考,在谷歌学术中搜索可以找到一大堆资料,或者国外实验室的经验总结。
3楼2011-09-12 19:22:15
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