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木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】光刻的资料已有2人参与

如题，请问谁有光刻的相关实验资料，具体一些的，我知道光刻的一些步骤，前烘，甩胶，后烘，曝光，显影啥的，具体的没有实验过，我想找一些具体的，比如用什么样的胶体，转速多少，用什么进行化学刻蚀等等，具体配方，谢谢

微信公众号：zajiadabing

1楼 2010-07-27 08:36:11

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新虫 (初入文坛)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): 2011-08-25 12:38:00

这个啊，上上海交大的网站就有。网上这方面的资料多了去了

努力就有收获1

2楼2011-08-25 12:28:28

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至尊木虫 (正式写手)

★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
金光闪闪2010(金币+1): Thank you for your information 2011-09-14 15:11:48

这个东西需要摸索的，别人的经验参数也只能作为参考，在谷歌学术中搜索可以找到一大堆资料，或者国外实验室的经验总结。

3楼2011-09-12 19:22:15

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