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gamewang木虫 (著名写手)
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[交流]
【求助】光刻的资料 已有2人参与
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| 如题，请问谁有光刻的相关实验资料，具体一些的，我知道光刻的一些步骤，前烘，甩胶，后烘，曝光，显影啥的，具体的没有实验过，我想找一些具体的，比如用什么样的胶体，转速多少，用什么进行化学刻蚀等等，具体配方，谢谢 |
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xiangnan121
至尊木虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
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- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
3楼2011-09-12 19:22:15