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fengaddress812木虫 (正式写手)
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【请教】提拉单晶硅中的氧化诱生层错(OSF)怎么解决? 已有2人参与
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小弟提拉的单晶硅中有大量的氧化诱生层错(OSF),请问各位大侠,有没有什么好方法能解决的啊?我高温退火了,还是不行,好像更差了。请有经验的大侠指点一二。 谢谢! |
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barton2004
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