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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 文献解析 » 【请教】提拉单晶硅中的氧化诱生层错（OSF）怎么解决？
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fengaddress812

木虫 (正式写手)

[交流] 【请教】提拉单晶硅中的氧化诱生层错（OSF）怎么解决？ 已有2人参与

小弟提拉的单晶硅中有大量的氧化诱生层错（OSF），请问各位大侠，有没有什么好方法能解决的啊？我高温退火了，还是不行，好像更差了。请有经验的大侠指点一二。
谢谢！
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1楼 2010-07-16 21:56:25
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barton2004

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
提高拉速可以,你試試!
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天行健,君子以自强不息!!!
2楼2010-10-08 19:21:15
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pzlky

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
OSF和V/G关系很大，V/G小于0.13mm2min-1k-1，OSF占比比较多，可以想办法增加V/G的值，比如适当提高点头部的拉速，或者降低引晶埚位。但是V/G如果太大会带来比OSF更严重的缺陷，空位缺陷。
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3楼2014-12-22 09:47:26
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