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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】硅片抛光
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dbczml

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[交流] 【求助】硅片抛光

化学机械抛光过程中，将抛光作用分为化学作用和机械作用，利用硅溶胶对硅片进行抛光的过程中，硅片表面发生的化学作用是什么呢，生成的产物是什么
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1楼 2010-06-21 14:36:57
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