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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

[交流] 【求助】求硅片上沉积铜薄膜 已有6人参与

紧急向各位虫友求助:
请问在北京,哪有地方可以对外提供下面的Cu薄膜加工:
在单晶Si底上生长一层SiO2,然后再沉积Cu。可能的话需要在沉积Cu前事先沉积一层其它的金属材料如Ti等。沉积方法CVD、溅射、电镀等等都可以。苦于找不到地方做样品。拜谢!北京没有,其它地方的也行啊!!


[ Last edited by xjg2008 on 2010-5-24 at 10:58 ]
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)

xjg2008(金币+3):感激! 2010-05-10 23:31:54
呵呵,国家纳米中心就有这种仪器设备,好像还能对外。其实我们组自己也有,不过是热蒸镀。
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
3楼2010-05-09 22:38:46
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maoyangch

金虫 (小有名气)

我也是作膜的,可以一起研究下
4楼2010-05-10 10:29:24
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

xjg2008(金币+3):感谢! 2010-05-10 23:32:43
http://bbs.coatingdata.com/可以到这里问问看
材料分析测试技术群:101717240。
5楼2010-05-10 16:07:34
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

感谢3楼,我前几天去问了,国家纳米中心要求提供溅射用铜靶。他们那有金、Cr等靶。

请大侠帮助啊!能沉积铜膜的啊。
吃好,喝好,玩好,学好
6楼2010-05-20 11:53:17
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