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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

[交流] 【求助】求硅片上沉积铜薄膜 已有6人参与

紧急向各位虫友求助:
请问在北京,哪有地方可以对外提供下面的Cu薄膜加工:
在单晶Si底上生长一层SiO2,然后再沉积Cu。可能的话需要在沉积Cu前事先沉积一层其它的金属材料如Ti等。沉积方法CVD、溅射、电镀等等都可以。苦于找不到地方做样品。拜谢!北京没有,其它地方的也行啊!!


[ Last edited by xjg2008 on 2010-5-24 at 10:58 ]
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

等待帮忙!
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2楼2010-05-09 20:12:15
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)

xjg2008(金币+3):感激! 2010-05-10 23:31:54
呵呵,国家纳米中心就有这种仪器设备,好像还能对外。其实我们组自己也有,不过是热蒸镀。
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
3楼2010-05-09 22:38:46
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maoyangch

金虫 (小有名气)

我也是作膜的,可以一起研究下
4楼2010-05-10 10:29:24
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech

xjg2008(金币+3):感谢! 2010-05-10 23:32:43
http://bbs.coatingdata.com/可以到这里问问看
材料分析测试技术群:101717240。
5楼2010-05-10 16:07:34
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

感谢3楼,我前几天去问了,国家纳米中心要求提供溅射用铜靶。他们那有金、Cr等靶。

请大侠帮助啊!能沉积铜膜的啊。
吃好,喝好,玩好,学好
6楼2010-05-20 11:53:17
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)

如果只是做电极,不像磁控溅射、MBE那样对厚度要求严格,我们倒可以合作,我可以跟我老师商量下
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
7楼2010-05-20 17:25:56
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)

但是我们组不提供蒸镀Cr、Ti等很高熔点的金属,如果是为了改善电极接触,蒸Ni也是很有效的
海纳百川,有容乃大。壁立千仞,无欲则刚!
8楼2010-05-20 17:27:30
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

等待帮忙!!!
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9楼2010-05-22 19:56:01
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

Help!Help
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10楼2010-05-24 10:58:38
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