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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】求硅片上沉积铜薄膜
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士

[交流] 【求助】求硅片上沉积铜薄膜 已有6人参与

紧急向各位虫友求助：
请问在北京，哪有地方可以对外提供下面的Cu薄膜加工：
在单晶Si底上生长一层SiO2，然后再沉积Cu。可能的话需要在沉积Cu前事先沉积一层其它的金属材料如Ti等。沉积方法CVD、溅射、电镀等等都可以。苦于找不到地方做样品。拜谢！北京没有，其它地方的也行啊！！

[ Last edited by xjg2008 on 2010-5-24 at 10:58 ]
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吃好，喝好，玩好，学好
1楼 2010-05-08 09:10:22
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士
等待帮忙！
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吃好，喝好，玩好，学好
2楼2010-05-09 20:12:15
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
xjg2008(金币+3):感激！ 2010-05-10 23:31:54
呵呵，国家纳米中心就有这种仪器设备，好像还能对外。其实我们组自己也有，不过是热蒸镀。
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海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
3楼2010-05-09 22:38:46
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maoyangch

金虫 (小有名气)
我也是作膜的，可以一起研究下
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4楼2010-05-10 10:29:24
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wudong863

金虫 (小有名气)

Coatingtech
xjg2008(金币+3):感谢！ 2010-05-10 23:32:43
http://bbs.coatingdata.com/可以到这里问问看
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材料分析测试技术群：101717240。
5楼2010-05-10 16:07:34
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士
感谢3楼，我前几天去问了，国家纳米中心要求提供溅射用铜靶。他们那有金、Cr等靶。

请大侠帮助啊！能沉积铜膜的啊。
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吃好，喝好，玩好，学好
6楼2010-05-20 11:53:17
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
如果只是做电极，不像磁控溅射、MBE那样对厚度要求严格，我们倒可以合作，我可以跟我老师商量下
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海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
7楼2010-05-20 17:25:56
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hqzhou0817

金虫 (著名写手)
但是我们组不提供蒸镀Cr、Ti等很高熔点的金属，如果是为了改善电极接触，蒸Ni也是很有效的
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海纳百川，有容乃大。壁立千仞，无欲则刚！
8楼2010-05-20 17:27:30
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士
等待帮忙！！！
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吃好，喝好，玩好，学好
9楼2010-05-22 19:56:01
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xjg2008

木虫 (小有名气)

学士
Help！Help
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吃好，喝好，玩好，学好
10楼2010-05-24 10:58:38
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