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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 合成表征 » 【请教】sem和tem的EDS对分析样品的成分有什么不同
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uncompared

金虫 (小有名气)

[交流] 【请教】sem和tem的EDS对分析样品的成分有什么不同 已有10人参与

扫描电镜（SEM）和透射电镜(TEM)的EDS对分析样品的成分有什么不同，（一个是分析表面成分，一个是分析内部成分吗？）
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1楼 2010-05-03 21:25:28
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

zhuangzb

银虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
一般TEM的加速电压会更高一些，不知道是不是这个对应EDS的效果会不会更好一些
另外一般测TEM的样品都比较薄，所以用TEM测EDS的时候铜网的影响会比较大
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9楼2011-07-06 05:21:43
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lingyunmu1

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
TEM比SEM放大倍数要高，可以透过，主要是看包裹性材料或者孔道结构材料。SEM可以更清楚的分析材料的形貌特征，关于EDS：TEM主要是通过打点来分析材料的元素，而SEM可以面扫作出材料的元素分布，EDS最大的区别就是SEM只可以做块体，几十纳米以下粉体做不了
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时人不识凌云木，直待凌云始道高！
13楼2013-06-24 01:59:44
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huanxue3123

木虫 (小有名气)

将军
uncompared(金币+1): 2010-05-04 08:54
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图，可以告诉你样品的形貌特这，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的，给出的是立体图，对观察棒状，球状，等等材料材料有很好的视觉效果。EDS是分析成分的，一般是配套于TEM仪器上。它分析的是样品表面面某个小的部分的元素组成，不能代表样品整体组成。。。
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莫使少懒悔晚年
4楼2010-05-04 08:22:59
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普通回帖

yccycc

木虫 (著名写手)
uncompared(金币+1): 2010-05-04 08:54
SEM的EDS分析的面积大，TEM分析的面积小
所以说还是SEM的可信度高
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2楼2010-05-03 21:57:38
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caodong2000

银虫 (正式写手)
uncompared(金币+1): 2010-05-04 08:55
sem是分析组织形貌 tem分析晶体结构、形貌分析
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3楼2010-05-03 23:09:52
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haosir88

木虫 (小有名气)
uncompared(金币+1): 2010-05-04 08:55
有条件测XPS。都是用X射线特征谱原理搞定的。
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5楼2010-05-04 08:46:42
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Frank18711

木虫 (正式写手)
引用回帖:
Originally posted by huanxue3123 at 2010-05-04 08:22:59:
SEM TEM 都是主要用来分析形貌。他两相比较TEM的分辨率要高于SEM。TEM给出的是一个平面图，可以告诉你样品的形貌特这，尤其是孔材料用TEM分析最好。SEM是分析表面形貌结构的，给出的是立体图，对观察棒状，球状， ...

说的蛮好！顶
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6楼2010-05-04 09:11:01
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uncompared

金虫 (小有名气)

探测深度问题

我所了解到的，SEM和TEM都有EDS或EDX（用来分析成分的），但二者是不是有所区别，除了探测区域的大小上，是不是在探测深度上也会有所不同，是不是TEM的EDS可以探测到材料更内部的成分？
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7楼2010-05-04 09:40:49
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meteorabob

铜虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
Originally posted by uncompared at 2010-05-04 09:40:49:
我所了解到的，SEM和TEM都有EDS或EDX（用来分析成分的），但二者是不是有所区别，除了探测区域的大小上，是不是在探测深度上也会有所不同，是不是TEM的EDS可以探测到材料更内部的成分？

看看SEM和TEM的EDS的加速电压吧？
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8楼2011-07-06 02:05:22
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liuxu_liuxu

木虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
sem是分析组织形貌 tem分析晶体结构、形貌分析
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交流
10楼2011-07-08 08:53:15
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