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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？
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didu

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？ 已有2人参与

今天铺PS球时，想到AAO模板可以用做喷金时的掩膜板吗？
这个问题其实是这样的：
1.AAO模板的孔是不是通的？
2.AAO模板是层薄膜吗？一般有多厚？
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1楼 2010-03-30 21:44:32
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tangqw

至尊木虫 (职业作家)

教授
★ ★
didu(金币+1):谢谢参与
zhangwj(金币+1):谢谢应助 2010-03-30 22:25
1. AAO模版可以做成双通，也可以做成单通的。
2. AAO模版是氧化铝在铝片上的有序孔阵列，厚度根据你的合成时间和铝片的厚度决定。
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2楼2010-03-30 22:11:40
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zy150223

木虫 (小有名气)

自扰庸人
★
didu(金币+1):谢谢参与
估计不行吧，AAO的厚度一般到几个微米，由于扩散作用，一般都金颗粒都会附着到AAO的表面，估计效果不会很好的
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3楼2010-03-30 23:35:48
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yiluoyuyi

木虫 (小有名气)
★
didu(金币+1):谢谢参与
做掩模板对AAO的厚度要求挺高的，最好小于一个微米吧
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期待春暖花开
4楼2010-03-31 15:47:22
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wenly010

铁虫 (小有名气)
★
didu(金币+1):谢谢参与
didu(金币+2):非常感谢。 2010-03-31 17:33
已经有很多用ＡＡＯ做掩膜板的报道了啊..
其中就有雷勇课题组专门从事该方向的研究:　http://www.uni-muenster.de/Physik.MP/Lei/
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5楼2010-03-31 17:24:31
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seebay6271

新虫 (小有名气)
★
didu(金币+1):谢谢参与
didu(金币+1):谢谢。 2010-03-31 17:36
可以。看这篇文献：
标题: Extended arrays of vertically aligned sub-10 nm diameter [100] Si nanowires by metal-assisted chemical etching
作者: Huang ZP, Zhang XX, Reiche M, et al.
来源出版物: NANO LETTERS   卷: 8   期: 9   页: 3046-3051   出版年: SEP 2008
被引频次: 12
引用回帖:
Originally posted by didu at 2010-03-30 21:44:32:
今天铺PS球时，想到AAO模板可以用做喷金时的掩膜板吗？
这个问题其实是这样的：
1.AAO模板的孔是不是通的？
2.AAO模板是层薄膜吗？一般有多厚？

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6楼2010-03-31 17:33:37
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

回答

★ ★
didu(金币+1):谢谢参与
zhangwj(金币+1):谢谢参与讨论 2010-03-31 22:27
AAO模板的孔是通着的，厚度并不是个定值！掩膜板其实就是一个遮挡的材料，让紫外或者等离子体能够通过其孔去刻蚀或者光刻有光刻胶的基底材料！所以从这个角度来考虑，AAO模板是可以作为掩膜板的！祝你实验成功！
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学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
7楼2010-03-31 17:56:02
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lcycomcn

铁杆木虫 (著名写手)

千年虫
★
didu(金币+1):谢谢参与
如果只是采用喷金的方法 估计是行不通的。。
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宁静以致远
8楼2010-03-31 18:44:31
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nanguarang

银虫 (小有名气)
★ ★
didu(金币+1):谢谢参与
zhangwj(金币+1):谢谢参与讨论 2010-03-31 22:27
didu(金币+1): 2010-04-08 20:47
可以，参见Urich gosele woo lee这几年  关于Si生长和 磁性材料生长的几篇nature子刊，Nano lett  ADV mater
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9楼2010-03-31 21:46:57
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basihou
★
didu(金币+1):谢谢参与
10楼2010-03-31 22:02:49
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