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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？
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didu

木虫 (小有名气)

[交流] 【请教】AAO模板可不可以用来做掩膜板？ 已有2人参与

今天铺PS球时，想到AAO模板可以用做喷金时的掩膜板吗？
这个问题其实是这样的：
1.AAO模板的孔是不是通的？
2.AAO模板是层薄膜吗？一般有多厚？
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1楼 2010-03-30 21:44:32
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

回答

★ ★
didu(金币+1):谢谢参与
zhangwj(金币+1):谢谢参与讨论 2010-03-31 22:27
AAO模板的孔是通着的，厚度并不是个定值！掩膜板其实就是一个遮挡的材料，让紫外或者等离子体能够通过其孔去刻蚀或者光刻有光刻胶的基底材料！所以从这个角度来考虑，AAO模板是可以作为掩膜板的！祝你实验成功！
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学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
7楼2010-03-31 17:56:02
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zhaohaixing

荣誉版主 (著名写手)

心静、静心

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★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
做光刻是可以的，也有人这么做过，相似的文献你可以找找看！
赞一下(1人) 回复此楼
学会选择，懂得放弃，有信心不一定会赢，没信心一定会输
13楼2011-03-10 12:23:33
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