【请教】硅片的清洗 - 微米和纳米 - 微纳器件 - 第5页小木虫论坛-学术科研互动平台

版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

5

guying222888

铁虫 (小有名气)

应助: 5 (幼儿园)
金币: 291.2
散金: 10
红花: 4
帖子: 126
在线: 30.3小时
虫号: 1590073
注册: 2012-01-29
专业: 半导体晶体与薄膜材料

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

19920905楼: Originally posted by gebilang at 2011-08-05 15:06:02
那些用丙酮、乙醇超声的朋友，大家都是怎么把片子放到烧杯里的？我的意思是如果同时洗多片的话，一片一片之间不就被乙醇或是酒精粘到一起或者是吸附到一起了吗，超声对这些还有作用吗？
...

用石英做的花篮，有卡槽，一次可以放好几片

41楼2012-06-14 15:35:33

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

刘毅123

金虫 (小有名气)

应助: 6 (幼儿园)
金币: 1458.8
散金: 707
红花: 1
帖子: 211
在线: 53.8小时
虫号: 2035667
注册: 2012-09-28
性别: GG
专业: 光学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

那PDMS能按照以上的方法清洗吗？

要做就做好，要争就第一

42楼2012-10-13 08:42:39

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

fushengdream

银虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 298.4
红花: 2
帖子: 78
在线: 19.2小时
虫号: 2052886
注册: 2012-10-10
性别: GG
专业: 集成电路制造与封装

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

PDMS你最好别在丙酮里面泡

人生一世，可察何来，难料何往

43楼2012-10-31 15:10:19

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

fanshuqi

至尊木虫 (职业作家)

_范er^-sTyLe

应助: 161 (高中生)
贵宾: 0.526
金币: 12626.2
散金: 1013
红花: 47
沙发: 6
帖子: 3922
在线: 717.3小时
虫号: 1118161
注册: 2010-10-10
性别: GG
专业: 有机高分子功能材料

引用回帖:

19152332楼: Originally posted by plum8736 at 2010-03-24 15:50:01
RCA标准清洗法是1965年由Kern和Puotinen 等人在N.J.Princeton的RCA实验室首创的，并由此而得名。RCA是一种典型的、至今仍为最普遍使用的湿式化学清洗法，该清洗法主要包括以下几种清洗液。
（1）SPM：H2SO4 /H2O2 ...

有文献出处么？

44楼2012-12-13 10:47:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

plum8736

铁杆木虫 (职业作家)

快乐家族--科比的偶像

应助: 1 (幼儿园)
贵宾: 0.009
金币: 6122.4
散金: 105
红花: 2
沙发: 15
帖子: 4025
在线: 297.9小时
虫号: 576849
注册: 2008-06-21
专业: 高分子合成化学

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

19935472楼: Originally posted by fanshuqi at 2012-12-13 10:47:13
有文献出处么？

...

很久之前好像在一篇博士论文上看见的

45楼2012-12-13 16:59:16

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

ssm323

铁虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 7.5
帖子: 4
在线: 8.6小时
虫号: 1737379
注册: 2012-04-05
性别: MM
专业: 集成电路制造与封装

RCA Clean

46楼2012-12-20 23:27:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

1585729300

新虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 43.7
散金: 49
红花: 1
帖子: 105
在线: 43.4小时
虫号: 1825883
注册: 2012-05-19
专业: 高分子组装与超分子结构

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你使用脱脂棉顺着一个方向擦拭么？溶剂清洗后，吹干是不是还有水渍？能在灯光下看到那种，我很头疼这种水渍，还有请问一下，除了脱脂棉以外还有什么能用于擦拭？滤纸较为粗糙可能有划痕，谢谢啦

赞一下(3人)

47楼2013-06-19 09:45:08

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

wycglf

新虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 562
帖子: 4
在线: 9.5小时
虫号: 1476459
注册: 2011-11-04
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

请问HF的溶液浓度多少比较合适？浸泡时间多少可以只去除表面氧化层而不损坏下面的Si？

48楼2013-06-19 10:24:59

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

高分子足球烯

金虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 97.7
散金: 6
红花: 2
帖子: 35
在线: 37小时
虫号: 1992425
注册: 2012-09-11
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

引用回帖:

41楼: Originally posted by guying222888 at 2012-06-14 15:35:33
用石英做的花篮，有卡槽，一次可以放好几片...

石英做的花篮，带卡槽的有卖么？

我就是我

49楼2013-10-21 17:18:26

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

高分子足球烯

金虫 (初入文坛)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 97.7
散金: 6
红花: 2
帖子: 35
在线: 37小时
虫号: 1992425
注册: 2012-09-11
性别: GG
专业: 半导体微纳机电器件与系统

引用回帖:

48楼: Originally posted by wycglf at 2013-06-19 10:24:59
请问HF的溶液浓度多少比较合适？浸泡时间多少可以只去除表面氧化层而不损坏下面的Si？

2%的HF，10min

我就是我

50楼2013-10-21 17:19:01

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

相关版块跳转我要订阅楼主 jiangweijw 的主题更新

5