【请教】硅片的清洗 - 微米和纳米 - 微纳器件 - 第3页小木虫论坛-学术科研互动平台

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lcclcy05

新虫 (初入文坛)

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http://www.bjgrish.com/

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21楼2010-09-25 17:24:19

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hongliushu03

铁杆木虫 (著名写手)

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引用回帖:

Originally posted by zhongze at 2010-08-17 20:47:45:
丙酮乙醇异丙醇各超声两次。

要加异丙醇，否则会漂蓝

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宁毁千座庙不坏一桩姻！

22楼2010-10-07 11:21:51

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liuhuixuan

新虫 (正式写手)

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洗完之后用虑纸吸边沿的水，可能会好点。

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23楼2010-10-09 09:55:27

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zhongaihua

新虫 (小有名气)

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请问用氮气吹干要什么装置呢？

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24楼2010-10-24 21:57:26

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dawnmiao

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谢谢楼主哈哈

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25楼2011-05-05 16:48:48

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lasyia

新虫 (初入文坛)

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金光闪闪2010(金币+1): 2011-07-04 18:42:36

引用回帖:

Originally posted by zhenghj2012 at 2010-08-12 19:09:09:
先水磨去氧化层，然后稀HF十分钟，然后丙酮、酒精各三十分钟超声清洗，最后去离子水超声清洗三十分钟。保证干净。

楼主小心使用HF 我不小心粘到一点不痛不痒但手表皮被腐蚀黑了..半个月才好....用完无论有没有碰到手都要冲水10分钟...以防万一

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26楼2011-05-06 10:19:43

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xhxuxu

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金光闪闪2010(金币+1): 2011-07-04 18:42:28

我们的是：硫酸双氧水1：3，温度150度，清洗10MIN；氨水：水=1：30 5min,HF:H2O=1:30min

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27楼2011-07-04 16:06:36

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youcai147

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金光闪闪2010(金币+1): 2011-07-04 18:42:22

要最后是清水的表面，是不是最后要用一号液

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28楼2011-07-04 17:24:53

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gebilang

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那些用丙酮、乙醇超声的朋友，大家都是怎么把片子放到烧杯里的？我的意思是如果同时洗多片的话，一片一片之间不就被乙醇或是酒精粘到一起或者是吸附到一起了吗，超声对这些还有作用吗？

[ Last edited by gebilang on 2011-8-5 at 15:12 ]

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29楼2011-08-05 15:06:02

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鼓声点点

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有时候氮气也会有问题的。

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每天进步一点点

30楼2011-08-08 14:53:01

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