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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 【请教】硅片的清洗
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玖月冥

金虫 (正式写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
①　用洗涤剂浸泡超声清洗20分钟，溶解清除基片表面的大量有机物；
②　用稀硫酸浸泡超声清洗20分钟，去除有机物等污渍；
③　用分析纯丙酮50℃超声清洗20分钟，清除粘附的胶粘剂和部分残余有机物；
④　用分析纯无水乙醇在50℃超声清洗20分钟，再次溶解清洗残余有机物；
⑤　用去离子水在50℃超声清洗20分钟，清除乙醇、丙酮溶解物等物质；
⑥　用去离子水冲洗，烘干待用。
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31楼2011-08-09 09:26:42
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727441749

新虫 (小有名气)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
谢谢上面的经验，我就没洗干净过。。。汗
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32楼2011-08-09 12:44:14
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zjzl6552

木虫 (著名写手)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by anyihe at 2010-08-10 17:52:52:
弱弱的问硅片在哪买的？

貌似载玻片可以吧！
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33楼2011-08-10 14:10:18
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booam123

新虫 (初入文坛)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by anyihe at 2010-08-10 17:52:52:
弱弱的问硅片在哪买的？

我有美国生产的硅片。 优质质量规格详细全面，各种详细参数。并且可以根据要求制作氧化层，以及ALD 沉积各种绝缘层（如氧化铝，氧化鉿，氧化钛 ）．
并且还可根据要求制作光刻模版（３寸－８寸）。接受小额订购。 无论什么时间您有任何需求欢迎您随时留言到我的QQ：2488583250 我的email:afloriee@gmail.com 我会尽快回复您的。
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34楼2011-12-07 13:55:14
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lvyiyilv

木虫 (职业作家)
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖
拿到清华纳米中心区做个标准清洗
150一批
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35楼2012-01-01 12:56:19
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T_liyi_T

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
这些清洗的目的是什么，去除了哪些东西，对表?????有什么影??？
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36楼2012-03-26 11:57:02
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T_liyi_T

铜虫 (小有名气)
清洗去除了那些东西？对表面态有什么影响？
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37楼2012-03-26 11:58:59
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wuli_ml

银虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
最后最好用烘干方法，把你想要的那一面放在滤纸上。
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于千万年之间，于千万人之中，早一步，晚一步，刚刚好遇到。
38楼2012-03-26 17:07:39
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benben868

木虫 (正式写手)
不错的经验 支持
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39楼2012-06-11 12:05:20
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guying222888

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
19894586楼: Originally posted by zhongaihua at 2010-10-24 21:57:26
请问用氮气吹干要什么装置呢？

气枪
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40楼2012-06-14 15:34:08
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