【请教】硅片的清洗 - 微米和纳米 - 微纳器件 - 第4页小木虫论坛-学术科研互动平台

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玖月冥

金虫 (正式写手)

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在线: 34.4小时
虫号: 1103681
注册: 2010-09-20
性别: GG
专业: 金属结构材料

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①　用洗涤剂浸泡超声清洗20分钟，溶解清除基片表面的大量有机物；
②　用稀硫酸浸泡超声清洗20分钟，去除有机物等污渍；
③　用分析纯丙酮50℃超声清洗20分钟，清除粘附的胶粘剂和部分残余有机物；
④　用分析纯无水乙醇在50℃超声清洗20分钟，再次溶解清洗残余有机物；
⑤　用去离子水在50℃超声清洗20分钟，清除乙醇、丙酮溶解物等物质；
⑥　用去离子水冲洗，烘干待用。

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31楼2011-08-09 09:26:42

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727441749

新虫 (小有名气)

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虫号: 963304
注册: 2010-03-06
专业: 有机分子功能材料化学

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谢谢上面的经验，我就没洗干净过。。。汗

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32楼2011-08-09 12:44:14

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zjzl6552

木虫 (著名写手)

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专业: 有机合成

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引用回帖:

6楼: Originally posted by anyihe at 2010-08-10 17:52:52:
弱弱的问硅片在哪买的？

貌似载玻片可以吧！

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33楼2011-08-10 14:10:18

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booam123

新虫 (初入文坛)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

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引用回帖:

6楼: Originally posted by anyihe at 2010-08-10 17:52:52:
弱弱的问硅片在哪买的？

我有美国生产的硅片。优质质量规格详细全面，各种详细参数。并且可以根据要求制作氧化层，以及ALD 沉积各种绝缘层（如氧化铝，氧化鉿，氧化钛）．
并且还可根据要求制作光刻模版（３寸－８寸）。接受小额订购。无论什么时间您有任何需求欢迎您随时留言到我的QQ：2488583250 我的email:afloriee@gmail.com 我会尽快回复您的。

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34楼2011-12-07 13:55:14

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