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jiangweijw

铜虫 (小有名气)

[交流] 【请教】硅片的清洗 已有49人参与

我用丙酮,酒精,去离子水依次超声清洗,可硅片吹干后清洗的不干净。请教:带二氧化硅层的硅片应如何清洗才能干净?
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高分子足球烯

金虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
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41楼: Originally posted by guying222888 at 2012-06-14 15:35:33
用石英做的花篮,有卡槽,一次可以放好几片...

石英做的花篮,带卡槽的有卖么?
我就是我
49楼2013-10-21 17:18:26
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高分子足球烯

金虫 (初入文坛)

引用回帖:
48楼: Originally posted by wycglf at 2013-06-19 10:24:59
请问HF的溶液浓度多少比较合适?浸泡时间多少可以只去除表面氧化层而不损坏下面的Si?

2%的HF,10min
我就是我
50楼2013-10-21 17:19:01
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