应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶工艺问题
51/1返回列表
查看: 2528  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者二七九二将赠送您 25 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

二七九二

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶工艺问题 已有3人参与

光刻胶az4620，匀胶1000rpm得20um厚，软烘85℃40min，重复10次匀胶软烘得到200um厚的胶，曝光60sx10次，显影az400k（1：3稀释-15min+1：4稀释-35min，总共50min），显影用磁力搅拌2000转/分搅拌。第一为什么边边有血红色的胶，好像暗腐蚀但是不太确定。第二，光刻胶底部有粘附不牢，图案不完整现象，不知道是前烘不足还是磁力搅拌转速过快。

光刻胶工艺问题


光刻胶工艺问题-1

发自小木虫手机客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-12-31 11:36:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zhaowenhuang

新虫 (小有名气)
这么厚的胶，是用来电镀还是干刻的呢？选择4620是因为对耐刻蚀性能要求很高吗
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
10楼2025-04-09 22:53:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

二七九二

新虫 (初入文坛)
光刻胶工艺问题-2
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-12-31 11:39:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二七九二

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 二七九二 at 2024-12-31 11:39:11

这是在更高倍数显微镜下观察到的胶面情况
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
3楼2024-12-31 11:39:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
二七九二: 金币+5 2025-01-02 10:57:41
你这个工艺搞的匀胶重复的次数太多了，这样导致不同的加热环节产生的效果是不一样的，由于你的工艺过于复杂，无法通过这么几个实验数据就可以推断出什么原因导致的。建议你换AZ9260光刻胶试试吧。总之，匀胶和烘胶次数太多了，各种不可控，你这个很难获得理想胶型，主要是太厚了！！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

二七九二
4楼2024-12-31 15:58:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 297一志愿上交085600求调剂 +5 指尖八千里 2026-03-14 5/250 2026-03-14 17:26 by a不易
[基金申请] 现在如何回避去年的某一个专家，不知道名字 +3 zk200107 2026-03-12 6/300 2026-03-14 17:13 by zk200107
[考研] 复试调剂 +7 呼呼？~+123456 2026-03-08 10/500 2026-03-14 15:27 by 呼呼？~+123456
[考研] 一志愿哈工大材料324分求调剂 +5 闫旭东 2026-03-14 5/250 2026-03-14 14:53 by 木瓜膏
[考研] 290求调剂 +4 @将就将就看 2026-03-10 8/400 2026-03-14 14:23 by 千千运气
[考研] 268求调剂 +3 一定有学上- 2026-03-14 4/200 2026-03-14 13:52 by 千千运气
[考研] 求调剂，一志愿山东大学，数二英一，302 +3 nini412 2026-03-08 3/150 2026-03-14 04:23 by JourneyLucky
[考研] 085600求调剂 +3 a邵星池 2026-03-09 3/150 2026-03-14 01:32 by JourneyLucky
[考研] 311求调剂 +8 zchqwer 2026-03-10 8/400 2026-03-14 00:01 by JourneyLucky
[考研] 材料工程,326分，求调剂 +6 KRSLSR 2026-03-10 6/300 2026-03-13 23:47 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中科院，化学方向，295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 泣血叩求调剂恩，愿以丹心报师恩 +6 Iuruoh 2026-03-11 6/300 2026-03-13 22:06 by JourneyLucky
[考研] 26调剂/材料/英一数二/总分289/已过A区线 +6 步川酷紫123 2026-03-13 6/300 2026-03-13 21:59 by 星空星月
[考研] 285求调剂 +6 柴郡猫_ 2026-03-12 6/300 2026-03-13 20:46 by hmn_wj
[考研] 307求调剂 +5 超级伊昂大王 2026-03-12 5/250 2026-03-13 15:56 by 棒棒球手
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 0856化工原理 +6 z2839474511 2026-03-10 6/300 2026-03-13 10:41 by houyaoxu
[考研] 293求调剂，一志愿陕师大生物学 +3 ??????.?.??? 2026-03-09 3/150 2026-03-11 10:02 by 学员8dgXkO
[硕博家园] 木虫好像不热闹了，是不是？ +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
[考博] 26年博士申请 +4 科研狗111 2026-03-07 4/200 2026-03-08 21:56 by 0611517sll
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭