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光刻胶工艺问题 已有3人参与
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光刻胶az4620，匀胶1000rpm得20um厚，软烘85℃40min，重复10次匀胶软烘得到200um厚的胶，曝光60sx10次，显影az400k（1：3稀释-15min+1：4稀释-35min，总共50min），显影用磁力搅拌2000转/分搅拌。第一为什么边边有血红色的胶，好像暗腐蚀但是不太确定。第二，光刻胶底部有粘附不牢，图案不完整现象，不知道是前烘不足还是磁力搅拌转速过快。  发自小木虫手机客户端 |
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