应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光刻胶工艺问题
51/1返回列表
查看: 2522  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者二七九二将赠送您 25 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

二七九二

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻胶工艺问题 已有3人参与

光刻胶az4620，匀胶1000rpm得20um厚，软烘85℃40min，重复10次匀胶软烘得到200um厚的胶，曝光60sx10次，显影az400k（1：3稀释-15min+1：4稀释-35min，总共50min），显影用磁力搅拌2000转/分搅拌。第一为什么边边有血红色的胶，好像暗腐蚀但是不太确定。第二，光刻胶底部有粘附不牢，图案不完整现象，不知道是前烘不足还是磁力搅拌转速过快。

光刻胶工艺问题


光刻胶工艺问题-1

发自小木虫手机客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-12-31 11:36:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二七九二

新虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by ciompman at 2024-12-31 15:58:27
你这个工艺搞的匀胶重复的次数太多了，这样导致不同的加热环节产生的效果是不一样的，由于你的工艺过于复杂，无法通过这么几个实验数据就可以推断出什么原因导致的。建议你换AZ9260光刻胶试试吧。总之，匀胶和烘胶次 ...

因为查文献，一般都是用正胶，好像9260的匀胶厚度还更薄（比4620
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
6楼2025-01-02 11:00:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

二七九二

新虫 (初入文坛)
光刻胶工艺问题-2
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-12-31 11:39:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

二七九二

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 二七九二 at 2024-12-31 11:39:11

这是在更高倍数显微镜下观察到的胶面情况
发自小木虫手机客户端
赞一下 回复此楼
3楼2024-12-31 11:39:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ciompman

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
二七九二: 金币+5 2025-01-02 10:57:41
你这个工艺搞的匀胶重复的次数太多了，这样导致不同的加热环节产生的效果是不一样的，由于你的工艺过于复杂，无法通过这么几个实验数据就可以推断出什么原因导致的。建议你换AZ9260光刻胶试试吧。总之，匀胶和烘胶次数太多了，各种不可控，你这个很难获得理想胶型，主要是太厚了！！
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

二七九二
4楼2024-12-31 15:58:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 265求调剂 +4 威化饼07 2026-03-12 4/200 2026-03-14 17:23 by userper
[教师之家] 焦虑 +5 水冰月月野兔 2026-03-13 7/350 2026-03-14 15:14 by 农药害害
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 331求调剂（0703有机化学 +5 ZY-05 2026-03-13 6/300 2026-03-14 10:51 by Jy?
[考研] 083000环境科学与工程调剂 +6 加油呀fxy 2026-03-07 7/350 2026-03-14 05:18 by JourneyLucky
[考研] 0831生医工307分 求调剂 +3 小小怪wx 2026-03-08 3/150 2026-03-14 03:36 by JourneyLucky
[考研] 调剂 +3 13853210211 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:47 by JourneyLucky
[考研] 一志愿湖师大化学289求调剂 +6 XMCMM3.14159 2026-03-10 6/300 2026-03-14 00:28 by JourneyLucky
[考研] 321求调剂 +3 CUcat 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:25 by JourneyLucky
[考研] 309求调剂 +3 花与叶@ 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:15 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 0703，333分求调剂 一志愿郑州大学-物理化学 +3 李魔女斗篷 2026-03-11 3/150 2026-03-13 22:24 by JourneyLucky
[考研] 301求调剂 +6 Liyouyumairs 2026-03-11 6/300 2026-03-13 20:11 by JourneyLucky
[考研] 材料调剂，307分 +13 张泳铭1 2026-03-09 17/850 2026-03-13 11:09 by 薛云鹏
[考研] 一志愿华中师范071000，325求调剂 +5 RuitingC 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:43 by hyswxzs
[考研] 085600 材料与化工 295 求调剂 +10 dream…… 2026-03-10 12/600 2026-03-12 13:46 by dream……
[考研] 哈工大材料324求调剂 +6 闫旭东 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:49 by 星空星月
[考研] 0856材料与化工353分求调剂 +11 NIFFFfff 2026-03-09 11/550 2026-03-10 18:36 by suyuanhai
[考研] 334求调剂 +5 Trying] 2026-03-07 5/250 2026-03-09 14:47 by ruiyingmiao
[考研] 337求调剂 +3 睡醒，。 2026-03-09 3/150 2026-03-09 10:02 by 求调剂zz
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭