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磁控溅射氧化镓 已有1人参与
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求助各位大神,做氧化镓薄膜一直镀不上去,溅射过程中有起辉现象,辉光是那种偏白的,功率在120w左右,工作气压2pa(调低后辉光会熄灭,已经是那种很慢的调了),衬底试过玻璃、硅、钛,氩气60氧气5,溅射时间2h。尝试过很多参数,镀完后肉眼观察不出来明显的膜层,然后也退火做过xrd,也是没有氧化镓的峰。准备做一次扫描看一看,有没有懂的大神知道哪出了问题 @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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Angel01
新虫 (著名写手)
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