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磁控溅射氧化镓 已有1人参与
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求助各位大神，做氧化镓薄膜一直镀不上去，溅射过程中有起辉现象，辉光是那种偏白的，功率在120w左右，工作气压2pa（调低后辉光会熄灭，已经是那种很慢的调了），衬底试过玻璃、硅、钛，氩气60氧气5，溅射时间2h。尝试过很多参数，镀完后肉眼观察不出来明显的膜层，然后也退火做过xrd，也是没有氧化镓的峰。准备做一次扫描看一看，有没有懂的大神知道哪出了问题 @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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