应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射氧化镓
51/1返回列表
查看: 1151  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者kust cl将赠送您 35 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

kust cl

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氧化镓 已有1人参与

求助各位大神，做氧化镓薄膜一直镀不上去，溅射过程中有起辉现象，辉光是那种偏白的，功率在120w左右，工作气压2pa（调低后辉光会熄灭，已经是那种很慢的调了），衬底试过玻璃、硅、钛，氩气60氧气5，溅射时间2h。尝试过很多参数，镀完后肉眼观察不出来明显的膜层，然后也退火做过xrd，也是没有氧化镓的峰。准备做一次扫描看一看，有没有懂的大神知道哪出了问题

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-09-13 17:54:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Angel01

新虫 (著名写手)
我做氧化镓靶材

发自小木虫Android客户端
回复此楼
3楼2024-09-22 07:53:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

kust cl

新虫 (初入文坛)
打了mapping上面没有镓元素

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-09-18 22:04:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)
参考一下文献的条件，再自己摸索一下条件应该就没问题了应该，我是用pld法生长，按照文章里的条件直接就能沉积出氧化镓薄膜。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2024-09-25 13:36:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小柯基？

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也是磁控溅射氧化镓的，但是你60/5的 氩氧比 是不是氧气太多了，试试氧分压少一点 会不会好一点，我渡完之后的  氧化镓 纯氩气环境溅射 在硅片上是紫色的。溅射气压大概在2mTorr。
赞一下 回复此楼
5楼2024-11-25 14:35:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 26调剂/材料科学与工程/总分295/求收留 +7 2026调剂侠 2026-03-12 7/350 2026-03-13 09:23 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +5 ADT 2026-03-12 5/250 2026-03-13 08:32 by 学员8dgXkO
[考研] 302求调剂 +5 负心者当诛 2026-03-11 5/250 2026-03-13 08:19 by 一直走不要停
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +3 薛云鹏 2026-03-13 3/150 2026-03-13 08:14 by JourneyLucky
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[考研] 337一志愿华南理工0805材料求调剂 +6 mysdl 2026-03-11 8/400 2026-03-12 17:19 by 松花缸1201
[考研] 271求调剂 +7 生如夏花… 2026-03-11 7/350 2026-03-12 09:32 by allen-yin
[考研] 一志愿江南大学085701环境工程专硕总分287求调剂 +5 18266118446 2026-03-09 5/250 2026-03-11 16:51 by 2020015
[考研] 材料调剂，307分 +12 张泳铭1 2026-03-09 13/650 2026-03-11 08:42 by 学员8dgXkO
[考研] 307求调剂 +6 超级伊昂大王 2026-03-10 6/300 2026-03-10 22:46 by 星空星月
[考研] 306求调剂 +3 唐薏薏 2026-03-09 3/150 2026-03-10 22:30 by peike
[考研] 求调剂材料专硕293 +6 段_(:з」∠)_ 2026-03-10 6/300 2026-03-10 18:22 by ms629
[考研] 327分求调剂086 +4 西红柿?小帅 2026-03-09 7/350 2026-03-10 14:47 by ruiyingmiao
[考研] 一志愿天大化工（085600）调剂总分338 +5 蔡大美女 2026-03-09 5/250 2026-03-10 14:44 by ruiyingmiao
[考研] 334求调剂 +5 Trying] 2026-03-07 5/250 2026-03-09 14:47 by ruiyingmiao
[考研] 083000环境科学与工程调剂 +5 加油呀fxy 2026-03-07 6/300 2026-03-08 21:07 by sdgdsdgd
[考研] 346分材料求调剂 +5 snow_反季节版 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:40 by Leeding1356
[考研] 一志愿中国石油大学（华东） 本科齐鲁工业大学 求调剂 +3 snw石 2026-03-07 3/150 2026-03-07 20:01 by houyaoxu
[考研] 一志愿武汉理工085601，初试301分，请问能调剂到湖北吗 +3 肖yang 2026-03-06 3/150 2026-03-07 19:08 by ms629
[考研] 诚求调剂，323分 有专利/科研/实习经历 +6 橙子cyx 2026-03-06 8/400 2026-03-07 19:06 by 新篇章DFSS
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭