应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射氧化镓
51/1返回列表
查看: 1700  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者kust cl将赠送您 35 个金币

kust cl

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射氧化镓 已有1人参与

求助各位大神，做氧化镓薄膜一直镀不上去，溅射过程中有起辉现象，辉光是那种偏白的，功率在120w左右，工作气压2pa（调低后辉光会熄灭，已经是那种很慢的调了），衬底试过玻璃、硅、钛，氩气60氧气5，溅射时间2h。尝试过很多参数，镀完后肉眼观察不出来明显的膜层，然后也退火做过xrd，也是没有氧化镓的峰。准备做一次扫描看一看，有没有懂的大神知道哪出了问题

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2024-09-13 17:54:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

kust cl

新虫 (初入文坛)
打了mapping上面没有镓元素

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
2楼2024-09-18 22:04:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Angel01

新虫 (著名写手)
我做氧化镓靶材

发自小木虫Android客户端
回复此楼
3楼2024-09-22 07:53:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hubuhurui

新虫 (初入文坛)
参考一下文献的条件，再自己摸索一下条件应该就没问题了应该，我是用pld法生长，按照文章里的条件直接就能沉积出氧化镓薄膜。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2024-09-25 13:36:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

小柯基？

新虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我也是磁控溅射氧化镓的，但是你60/5的 氩氧比 是不是氧气太多了，试试氧分压少一点 会不会好一点，我渡完之后的  氧化镓 纯氩气环境溅射 在硅片上是紫色的。溅射气压大概在2mTorr。
赞一下 回复此楼
5楼2024-11-25 14:35:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 kust cl 的主题更新
51/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 12/600 2026-10-13 20:40 by Merryya
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +9 Isak0320 2026-10-12 13/650 2026-10-13 11:57 by Isak0320
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭