| 查看: 973 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
磁控溅射 已有2人参与
|
|||
|
我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
长江大学石油工程学院唐善法团队2026年博士研究生招生
已经有7人回复
-
谢和平院士团队招收2026年度深地科学、岩石力学、资源能源开发领域的博士生1名
已经有15人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有155人回复
-
一志愿中国石油大学（华东）石油与天然气工程学硕，求调剂
已经有2人回复
-
长江大学石油工程学院2026年硕士调剂招生公告!!!
已经有12人回复
-
石油与天然气工程专业调剂
已经有1人回复
-
【公益诊断】11年化学放大老兵，免费帮你看一个间歇式反应器的工艺放大难题。
已经有34人回复
-
西安交通大学27级硕士招生
已经有3人回复
-
ScaleChem 求这个软件能正常用的pj版
已经有0人回复
3楼2023-10-11 21:30:30
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。 调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。 磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2023-10-11 11:22:55
4楼2023-10-11 21:33:07
5楼2023-10-11 21:44:27