| 查看: 901 | 回复: 5 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[交流]
磁控溅射 已有2人参与
|
|||
|
我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
西安交通大学27级硕士招生
已经有3人回复
-
ScaleChem 求这个软件能正常用的pj版
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有83人回复
-
2026年第三届催化技术论坛暨催化加氢技术交流研讨会
已经有1人回复
-
申博
已经有21人回复
-
“2026精馏分离技术与高效节能塔内件 工业化应用交流研讨会”
已经有0人回复
-
2026年化工行业数智化转型与智慧安全管理发展大会
已经有0人回复
-
“2026化学反应工程大会暨反应器设计选型与放大技术研讨会”
已经有0人回复
4楼2023-10-11 21:33:07
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。 调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。 磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2023-10-11 11:22:55
3楼2023-10-11 21:30:30
5楼2023-10-11 21:44:27
