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网络1234

新虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射 已有2人参与

我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材

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1楼 2023-10-11 08:00:01
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皮皮猪c

新虫 (初入文坛)
★
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自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。
调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。

磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。

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2楼2023-10-11 11:22:55
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网络1234

新虫 (初入文坛)
我同学用的铜靶做的时候一直都有自偏压，我以前用氧化钇做的时候也有自偏压，但是后来不知道为什么再做的时候就没有自偏压了

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3楼2023-10-11 21:30:30
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网络1234

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 皮皮猪c at 2023-10-11 11:22:55
自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。
调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优 ...

大佬，看看我的回复

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4楼2023-10-11 21:33:07
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网络1234

新虫 (初入文坛)
昨天我同学去做了，用铜靶做的有自偏压，但是我用氧化钇做的还是没有

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5楼2023-10-11 21:44:27
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Blue_bulu

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
表面打磨一下，或者换中频电源
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6楼2023-10-12 11:26:22
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