| 查看: 758 | 回复: 5 | |||
[交流]
磁控溅射 已有2人参与
|
|
我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
大连工业大学纺织与材料工程学院超临界流体技术课题组 研究生调剂
已经有6人回复
-
武汉纺织大学招生物材料、化学、高分子相关专业硕士生
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有256人回复
-
武汉纺织大学招生物材料、化学、高分子相关专业硕士生-另有少量士兵计划可咨询
已经有0人回复
-
[武汉纺织大学]材料学院[姜伟团队名称]课题组-2026年硕士研究生调剂信息
已经有0人回复
-
武汉纺织大学材料学院士兵计划调剂信息
已经有16人回复
-
中国科学院·过程工程研究所·招聘海内外高层次人才---过程所“百人计划”
已经有0人回复
-
中国科学院·过程工程研究所·招聘海内外高层次人才---过程所“百人计划”
已经有5人回复
-
2026考博自荐
已经有4人回复
-
【26博士招生】浙江理工大学余厚咏教授团队招生
已经有0人回复
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。 调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。 磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2023-10-11 11:22:55
3楼2023-10-11 21:30:30
4楼2023-10-11 21:33:07
5楼2023-10-11 21:44:27
6楼2023-10-12 11:26:22