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磁控溅射 已有2人参与
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我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材 发自小木虫IOS客户端 |
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自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。 调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。 磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。 发自小木虫IOS客户端 |
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