| 查看: 983 | 回复: 5 | |||
[交流]
磁控溅射 已有2人参与
|
|
我在做磁控溅射的时候有辉光，但是自偏压为0，这是为什么啊，用的是氧化钇陶瓷靶材 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
利用三维重构法对铁素体/马氏体双相钢内部微观结构的拓扑研究
已经有0人回复
-
高温原位观察多边形铁素体的相变
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有165人回复
-
铝含量对铁素体耐热不锈钢在凝固过程中δ→γ 相变及M23C6相析出行为的影响
已经有0人回复
-
利用全自动逐层切片成像系统对铝镧合金进行分析
已经有0人回复
-
韩国延世大学材料理论课题组(Materials Theory Group)招生启事
已经有111人回复
-
韩国延世大学材料理论课题组(Materials Theory Group)招聘启事
已经有110人回复
-
西安交通大学蔡文课题组招收2027年秋季入学申请-考核制博士生
已经有0人回复
-
西安交通大学蔡文课题组招收联合培养博士研究生和硕士研究生
已经有0人回复
-
高温原位观察高温合金的凝固枝晶生长过程
已经有0人回复
-
穿王消炎胶囊的临床应用
已经有0人回复
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
自偏压为0，可能与设备配置和操作有关。 调整电源工作方式，使得设备在"自偏"模式下工作，此时系统会自动调整偏压以获得最佳的镀膜效果。如果电源初始设置的自偏压已经接近0V，或者设备调节到最优状态，真正的最佳偏压就接近于0V，那么自偏压表现出的就是0。 磁控溅射系统的电源通常是直流(DC)或脉冲直流(Pulse DC)电源，对于一些绝缘性或半绝缘性的硬质靶材(氧化物、硅化物靶材)，会因为二次电子的积累在靶材上形成绝缘层，使得电流不能正常进行，影响了镀膜过程。在这种情况下，一般使用射频(RF)电源或中频(MF)电源。 发自小木虫IOS客户端 |
2楼2023-10-11 11:22:55
3楼2023-10-11 21:30:30
4楼2023-10-11 21:33:07
5楼2023-10-11 21:44:27
6楼2023-10-12 11:26:22