| 查看: 878 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者suhongda将赠送您 20 个金币 | ||
[求助]
新设备ALD-Al2O3沉积速率异常的高
|
||
|
用的是TMA-H2O，温度80，每个cycle有2～3A，这过速率快常吗？我看的文献都是1A左右。冲洗时间，控压，低压，脉冲时间都试过了，这没有小过2A/cycle的，折射率也很低只有1.4。这要怎么解决啊？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
课题组仿真算力不足、模拟计算卡点看过来👩🔬
已经有0人回复
-
【中科院杭州医学研究所27级博士招生】化学分析/生物材料与器件方向
已经有15人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有53人回复
-
叶片制造与返修，叶根遮蔽从来不是一锤子买卖
已经有0人回复
-
静电纺丝膜厚度问题
已经有94人回复
-
厚型防火涂料做厚就开裂？E-SPHERES®陶瓷微珠：骨架保形与低吸水解法
已经有0人回复
-
滤芯要进半导体产线，支撑网这一层为什么总卡在验证阶段？
已经有0人回复
-
常规静电纺丝制备
已经有106人回复
-
2027届申博 | 材料/化学/食品交叉 | 5篇一作SCI | 碳点/纳米传感/机器学习
已经有5人回复
-
HVOF超音速喷涂遮蔽方案：大连义邦双组份蓝白腻子应对起落架维修
已经有0人回复
-
各位老师、虫友大家好
已经有0人回复
2楼2023-09-22 20:12:48
3楼2023-10-05 10:02:24
