| 查看: 676 | 回复: 2 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者suhongda将赠送您 20 个金币 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
新设备ALD-Al2O3沉积速率异常的高
|
||
|
用的是TMA-H2O，温度80，每个cycle有2～3A，这过速率快常吗？我看的文献都是1A左右。冲洗时间，控压，低压，脉冲时间都试过了，这没有小过2A/cycle的，折射率也很低只有1.4。这要怎么解决啊？ 发自小木虫IOS客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
投稿问题
已经有2人回复
-
哪位老师方便，贴下2025年江苏省自科基金公示名单，方便大家查看。
已经有2人回复
-
无机非金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有103人回复
-
没有有可以提供能够用于表面微米结构等离子体刻蚀用的钛晶圆片（粗糙度较小）
已经有1人回复
-
深圳大鹏湾实验室材料中心招收2026级博士生/博士后/访问学生
已经有12人回复
-
深圳大鹏湾实验室材料中心招收2026级博士生/博士后/访问学生
已经有13人回复
-
招收2026年秋季入学博士生1名（北京科技大学 力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）
已经有21人回复
-
招收26年秋季入学博士生（北科大高精尖学院 力学超材料/机器学习/增材制造相关方向）
已经有18人回复
-
北京科技大学鲁启鹏招收2026年博士生1名
已经有26人回复
3楼2023-10-05 10:02:24
2楼2023-09-22 20:12:48