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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 新设备ALD-Al2O3沉积速率异常的高
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suhongda

新虫 (初入文坛)

[求助] 新设备ALD-Al2O3沉积速率异常的高

用的是TMA-H2O，温度80，每个cycle有2～3A，这过速率快常吗？我看的文献都是1A左右。冲洗时间，控压，低压，脉冲时间都试过了，这没有小过2A/cycle的，折射率也很低只有1.4。这要怎么解决啊？

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1楼 2023-09-11 23:13:21
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光棍9527

新虫 (小有名气)
只脉冲TMA看下是否发生了CvD反应

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3楼2023-10-05 10:02:24
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suhongda

新虫 (初入文坛)
找到原因了，就是漏气

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2楼2023-09-22 20:12:48
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