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suhongda

新虫 (初入文坛)

[求助] 新设备ALD-Al2O3沉积速率异常的高

用的是TMA-H2O,温度80,每个cycle有2~3A,这过速率快常吗?我看的文献都是1A左右。冲洗时间,控压,低压,脉冲时间都试过了,这没有小过2A/cycle的,折射率也很低只有1.4。这要怎么解决啊?

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suhongda

新虫 (初入文坛)

2楼2023-09-22 20:12:48
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光棍9527

新虫 (小有名气)

只脉冲TMA看下是否发生了CvD反应

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3楼2023-10-05 10:02:24
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