24小时热门版块排行榜    

查看: 2538  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者klxdzh将赠送您 10 个金币

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



发自小木虫Android客户端
5楼2022-01-16 20:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺,刺穿了

发自小木虫Android客户端
6楼2022-01-16 21:13:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msf2018

木虫 (职业作家)

我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

发自小木虫Android客户端
7楼2022-01-16 21:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电子束蒸发制备的40nm氧化铝的击穿电压很小吧,质量应该一般,你应该说明下你的测试电压范围,这样才更好作出判断。欢迎关注二维材料君,公众号有很多有用的分享
8楼2022-01-20 11:34:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王大坏人

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝,膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积,很薄一层就可以抗很大电压。
人生处处是烦恼,要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 klxdzh 的主题更新
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿北京化工大学材料与化工296分求调剂 +14 稻妻小编 2026-03-09 16/800 2026-03-11 13:49 by laoshidan
[考研] 一志愿浙江大学0856材料与化工求调剂 +3 yansheng@211 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:52 by @飒飒飒飒
[考研] 材料371求调剂 +7 鳄鱼? 2026-03-11 9/450 2026-03-11 10:31 by 木瓜膏
[考研] 0857 资源与环境 285分 +5 未名考生 2026-03-09 5/250 2026-03-11 10:20 by 沙漠之狐994
[考研] 293求调剂,一志愿陕师大生物学 +3 ??????.?.??? 2026-03-09 3/150 2026-03-11 10:02 by 学员8dgXkO
[考研] 327求调剂 +3 Ffff03 2026-03-10 3/150 2026-03-10 22:30 by macy2011
[考研] 收调剂 +7 调剂的考研学生 2026-03-10 7/350 2026-03-10 17:57 by 麦茶汤圆
[考研] 0817一志愿苏州大学280复试调剂 +9 kk扛 2026-03-07 9/450 2026-03-10 14:20 by peike
[考研] 材料与化工 一志愿山大 321分 求调剂 +6 每天散步 2026-03-09 7/350 2026-03-10 10:52 by 星空星月
[硕博家园] 木虫好像不热闹了,是不是? +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
[考研] 085600材料与化工,一志愿广州985,求调剂 +15 qqyyaill 2026-03-05 15/750 2026-03-10 08:23 by Linda Hu
[考研] 家人们 调剂不迷路 看这里 +8 likeihood 2026-03-09 13/650 2026-03-10 08:09 by likeihood
[考研] 0832食品科学与工程293调剂 +3 东东不東 2026-03-07 3/150 2026-03-09 15:58 by ls_13456
[考研] 290 材料与化工求调剂 +7 Nebulala 2026-03-08 7/350 2026-03-09 05:21 by houyaoxu
[考研] 求调剂,一志愿江南大学,食品科学与工程,总分,320 +3 yyyyyukino 2026-03-07 3/150 2026-03-08 23:07 by 清风月
[考研] 083000环境科学与工程调剂 +5 加油呀fxy 2026-03-07 6/300 2026-03-08 21:07 by sdgdsdgd
[考研] 301求调剂 +5 一二LV 2026-03-07 5/250 2026-03-07 22:20 by 18137688336
[考研] 求调剂,不管什么专业,我是可塑造的人才一枚,希望遇到知己老师捞捞我 +4 13102137290 2026-03-06 5/250 2026-03-07 21:21 by lissomchan
[考研] 材料专硕323求调剂 +5 李白26 2026-03-07 5/250 2026-03-07 16:46 by njzyff
[考研] 334求调剂 +6 Trying] 2026-03-05 8/400 2026-03-06 00:16 by wutongshun
信息提示
请填处理意见