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40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与
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| 最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿，就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级，有虫友知道是哪的问题吗 |
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