24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2579  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者klxdzh将赠送您 10 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王大坏人

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝,膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积,很薄一层就可以抗很大电压。
人生处处是烦恼,要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 291求调剂 +20 Y-cap 2026-03-29 25/1250 2026-04-01 23:49 by 欣喜777
[考研] 292分,材料与化工,申请调剂 +18 程晴之 2026-04-01 20/1000 2026-04-01 23:01 by 来看流星雨10
[考研] 266分,一志愿电气工程,本科材料,求材料专业调剂 +8 哇呼哼呼哼 2026-04-01 8/400 2026-04-01 21:41 by cal0306
[考研] 286求调剂 +16 PolarBear11 2026-03-26 16/800 2026-04-01 21:31 by 七度不信任
[考研] 085601材料工程找调剂 +20 oatmealR 2026-03-29 21/1050 2026-04-01 21:00 by lijunpoly
[考研] 261求调剂 +3 明仔· 2026-04-01 3/150 2026-04-01 20:52 by cq2548
[考研] 一志愿郑大材料工程290求调剂 +18 Youth_ 2026-03-30 18/900 2026-04-01 19:23 by 无际的草原
[考研] 332求调剂 +8 Lyy930824@ 2026-03-29 8/400 2026-04-01 18:40 by 千钧澄玉宇啊
[考研] 353求调剂 +4 拉钩不许变 2026-04-01 4/200 2026-04-01 18:10 by 记事本2026
[考研] 321求调剂 +8 y-yh 2026-04-01 8/400 2026-04-01 14:44 by 星空星月
[考研] 环境工程 085701,267求调剂 +15 minht 2026-03-29 16/800 2026-04-01 10:13 by li_sujuan99
[考研] 301求调剂 +8 axibli 2026-04-01 8/400 2026-04-01 09:51 by 我的船我的海
[考研] 085701环境工程,267求调剂 +17 minht 2026-03-26 17/850 2026-04-01 09:11 by xiayizhi
[考研] 299求调剂 +8 嗯嗯嗯嗯2 2026-03-27 8/400 2026-03-31 18:23 by lizhi8172
[考研] 367求调剂 +7 芋泥啵啵… 2026-03-28 7/350 2026-03-31 14:55 by 不吃魚的貓
[考研] 269求调剂 +4 我想读研11 2026-03-31 4/200 2026-03-31 10:04 by cal0306
[考研] 297 地理学070500 复试求调剂 +3 小圆圈圈ooo 2026-03-30 3/150 2026-03-30 21:05 by 余震yz
[考研] 296求调剂 +10 彼岸t 2026-03-29 10/500 2026-03-30 10:50 by 探123
[考研] 11408软件工程求调剂 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 21:50 by zhq0425
[考研] 308求调剂 +7 墨墨漠 2026-03-27 7/350 2026-03-28 07:43 by 热情沙漠
信息提示
请填处理意见