应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
91/1返回列表
查看: 2575  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者klxdzh将赠送您 10 个金币

klxdzh

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿，就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级，有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2022-01-16 20:13:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题，可能是边界电极搭上了？

膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的
赞一下 回复此楼
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

主管区长

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过，大概就是40nm,电极也没搭上啊，每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界，您可以试下一个电极比另外一个电极小，然后居中排布，测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
5楼2022-01-16 20:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

兑换贵宾

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样，中间阴影部分就是氧化铝，两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺，刺穿了

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2022-01-16 21:13:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msf2018

实习版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！
我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
7楼2022-01-16 21:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younghui

版主

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

电子束蒸发制备的40nm氧化铝的击穿电压很小吧，质量应该一般，你应该说明下你的测试电压范围，这样才更好作出判断。欢迎关注二维材料君，公众号有很多有用的分享
赞一下 回复此楼
8楼2022-01-20 11:34:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王大坏人

专家顾问

优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！优秀！！有木有！！！

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝，膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积，很薄一层就可以抗很大电压。
赞一下 回复此楼
人生处处是烦恼，要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 klxdzh 的主题更新
91/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 282求调剂 +10 ycy1201 2026-04-01 11/550 2026-04-01 09:45 by cocolv
[考研] 302求调剂 +5 圣日耳曼条 2026-04-01 5/250 2026-04-01 09:26 by 往事6z
[考研] 材料调剂 +8 一样YWY 2026-03-31 8/400 2026-04-01 09:02 by oooqiao
[考研] 362求调剂 +10 西南交材料专硕3 2026-03-31 10/500 2026-04-01 08:29 by JourneyLucky
[考研] 322求调剂 +4 熹僖XX 2026-03-31 4/200 2026-04-01 08:21 by JourneyLucky
[考研] 326求调剂 +3 崽崽仔 2026-03-31 3/150 2026-04-01 08:05 by JourneyLucky
[考研] 求调剂：085600材料与化工，考材科基，总分319 +17 678lucky 2026-03-31 21/1050 2026-04-01 01:40 by 1018329917
[考研] 289求调剂 +7 BrightLL 2026-03-29 7/350 2026-03-31 22:05 by 544594351
[考研] 学硕274求调剂 +17 Li李鱼 2026-03-26 17/850 2026-03-31 15:19 by 客尔美德
[考研] 270求调剂 +3 小杰pp 2026-03-31 4/200 2026-03-31 12:59 by wxiongid
[考研] 323分 食品与营养调剂 +3 嘿ooo 2026-03-31 3/150 2026-03-31 09:38 by longlotian
[考研] 083000环境科学与工程调剂，总分281 +4 橙子（胜意） 2026-03-30 4/200 2026-03-31 00:44 by Linzejun
[考研] 抱歉 +3 田洪有 2026-03-30 3/150 2026-03-30 19:11 by 迷糊CCPs
[考研] 310求调剂 +10 争取九点睡 2026-03-30 10/500 2026-03-30 16:45 by ztnimte
[考研] 一志愿北京工业大学，324分求调剂 +6 零八# 2026-03-28 6/300 2026-03-29 21:20 by nanaliuyun
[考研] 总分293求调剂 +8 加一一九 2026-03-25 11/550 2026-03-29 19:53 by 无际的草原
[考研] 327求调剂 +6 汲亦昊 2026-03-29 6/300 2026-03-29 13:40 by peike
[考研] 356求调剂 +3 gysy?s?a 2026-03-28 3/150 2026-03-29 00:33 by 544594351
[考研] 求调剂 +4 零八# 2026-03-27 4/200 2026-03-27 18:07 by yu221
[考研] 315调剂 +4 0860求调剂 2026-03-26 5/250 2026-03-27 11:23 by wangjy2002
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭