24小时热门版块排行榜    

查看: 2435  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者klxdzh将赠送您 10 个金币

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



发自小木虫Android客户端
5楼2022-01-16 20:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺,刺穿了

发自小木虫Android客户端
6楼2022-01-16 21:13:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msf2018

木虫 (职业作家)

我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

发自小木虫Android客户端
7楼2022-01-16 21:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电子束蒸发制备的40nm氧化铝的击穿电压很小吧,质量应该一般,你应该说明下你的测试电压范围,这样才更好作出判断。欢迎关注二维材料君,公众号有很多有用的分享
8楼2022-01-20 11:34:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王大坏人

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝,膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积,很薄一层就可以抗很大电压。
人生处处是烦恼,要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 klxdzh 的主题更新
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
信息提示
请填处理意见