24小时热门版块排行榜    

查看: 2535  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者klxdzh将赠送您 10 个金币

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



发自小木虫Android客户端
5楼2022-01-16 20:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:54:28
我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极

...

是不是金属边界有毛刺,刺穿了

发自小木虫Android客户端
6楼2022-01-16 21:13:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

msf2018

木虫 (职业作家)

我在想会不会跟金属电极的厚度有关系

发自小木虫Android客户端
7楼2022-01-16 21:33:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

younghui

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

电子束蒸发制备的40nm氧化铝的击穿电压很小吧,质量应该一般,你应该说明下你的测试电压范围,这样才更好作出判断。欢迎关注二维材料君,公众号有很多有用的分享
8楼2022-01-20 11:34:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

王大坏人

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

电子束蒸发做的氧化铝,膜层质量不好。
你可以试试原子层沉积,很薄一层就可以抗很大电压。
人生处处是烦恼,要有耐心慢慢来寻找。
9楼2022-01-20 16:49:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 klxdzh 的主题更新
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿江南大学085701环境工程专硕总分287求调剂 +4 18266118446 2026-03-09 4/200 2026-03-11 10:21 by 沙漠之狐994
[考研] 0857 资源与环境 285分 +5 未名考生 2026-03-09 5/250 2026-03-11 10:20 by 沙漠之狐994
[考研] 307求调剂 +6 超级伊昂大王 2026-03-10 6/300 2026-03-10 22:46 by 星空星月
[考研] 材料工程专硕,一志愿中国矿业大学,总分314,求调剂 +4 无懈可击的巨人 2026-03-10 4/200 2026-03-10 22:45 by 星空星月
[考研] 085602化工求调剂 +7 董boxing 2026-03-10 7/350 2026-03-10 17:07 by BruceLiu320
[考研] 复试调剂 +6 呼呼?~+123456 2026-03-08 8/400 2026-03-10 11:36 by 呼呼?~+123456
[考研] 一志愿清华深研院材料专硕294分,专业课111分,本科中南大学材料,有六级,有工作经验 +4 H14528 2026-03-04 4/200 2026-03-10 11:03 by dj19940201
[硕博家园] 2026级硕士研究生招生/调剂 +3 知足常乐的乐 2026-03-06 5/250 2026-03-09 20:56 by 木瓜膏
[考研] 一志愿山东大学,总分327,英语二79,有论文,有竞赛,已过四六级 +3 木木目目1 2026-03-09 3/150 2026-03-09 19:52 by yuningshan
[考研] 一志愿南大化学339分求调剂,四六级已过,有比赛,有文章 +7 Gallantzhou 2026-03-07 7/350 2026-03-09 18:38 by 30660438
[考研] 0703化学求调剂 +4 很老实人 2026-03-09 4/200 2026-03-09 13:38 by macy2011
[考研] 296求调剂 +4 Xinyu Wu311 2026-03-09 4/200 2026-03-09 11:51 by 勇敢太监王公公
[考研] 求0856调剂 +5 小力气珂珂 2026-03-08 5/250 2026-03-09 06:42 by houyaoxu
[考研] 288求调剂085600材料与化工 +13 Daunrin 2026-03-07 15/750 2026-03-08 19:10 by 加号+
[考研] 286求调剂 +12 Faune 2026-03-06 14/700 2026-03-08 14:54 by hmn_wj
[考研] 085701环境工程专业,初试305,均过国家A区线 +7 卡卡来了@ 2026-03-07 8/400 2026-03-08 06:40 by 刘兵
[考研] 材料化工求调剂 +7 博斯特525 2026-03-06 8/400 2026-03-08 03:51 by lfhuang
[考研] 267化工调剂求助 +7 聪少OZ 2026-03-04 7/350 2026-03-07 17:33 by 无际的草原
[考研] 085600材料与化工 292分 求调剂 +6 程晴之 2026-03-06 6/300 2026-03-07 09:22 by 斩魂滴兔子!
[考研] 求调剂推荐 +4 微辣不吃 2026-03-06 4/200 2026-03-07 00:28 by leaiy
信息提示
请填处理意见