24小时热门版块排行榜    

北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
查看: 2586  |  回复: 8
【悬赏金币】回答本帖问题,作者klxdzh将赠送您 10 个金币
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿 已有2人参与

最近使用电子束蒸发制备的氧化铝绝缘层总是被击穿,就是金属/氧化铝/金属这种三明治结构的。氧化铝厚度40nm,金属厚度50nm,做好后测量两金属电极之间电流有将近uA 级,有虫友知道是哪的问题吗
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
4楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:45:32
电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性
...

我做的应该和您说的一样,中间阴影部分就是氧化铝,两个白条是电极
40nm厚氧化铝绝缘层总是被击穿



发自小木虫Android客户端
5楼2022-01-16 20:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 9 个回答

babyoflion

金虫 (著名写手)

如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

发自小木虫Android客户端
2楼2022-01-16 20:37:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

klxdzh

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by babyoflion at 2022-01-16 20:37:33
如果膜层没问题,可能是边界电极搭上了?

膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的
3楼2022-01-16 20:40:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by klxdzh at 2022-01-16 20:40:30
膜厚我用AFM测过,大概就是40nm,电极也没搭上啊,每次镀膜都是用光刻胶包裹的...

电极的最边界,您可以试下一个电极比另外一个电极小,然后居中排布,测试下氧化铝的绝缘特性

发自小木虫Android客户端
4楼2022-01-16 20:45:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
不应助 确定回帖应助 (注意:应助才可能被奖励,但不允许灌水,必须填写15个字符以上)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 材料考研调剂 +7 Gs大王 2026-04-02 7/350 2026-04-02 09:50 by 晴空210210
[考研] 311求调剂 +5 勇敢的小吴 2026-04-02 5/250 2026-04-02 09:27 by syjjj0321
[考研] 348环境工程调剂 +3 吴彦祖24k 2026-04-01 3/150 2026-04-02 09:14 by nanaliuyun
[考研] 298求调剂 +4 什么是胖头鱼 2026-03-30 6/300 2026-04-01 22:06 by 客尔美德
[考研] 070300化学279求调剂 +15 哈哈哈^_^ 2026-03-31 17/850 2026-04-01 21:37 by 给你你注意休息
[考研] 332求调剂 +8 Lyy930824@ 2026-03-29 8/400 2026-04-01 18:40 by 千钧澄玉宇啊
[考研] 348求调剂 +5 小懒虫不懒了 2026-03-27 6/300 2026-04-01 16:13 by yanflower7133
[考研] 一志愿中国科学院大学265求调剂 +8 恬淡ye 2026-03-31 9/450 2026-04-01 14:34 by 逆水乘风
[考研] 化学0703 调剂 306分 一志愿211 +12 26要上岸 2026-03-28 12/600 2026-04-01 11:10 by chemdavid
[考研] 070300求调剂306分 +5 26要上岸 2026-03-27 5/250 2026-04-01 11:09 by oooqiao
[硕博家园] 博一被送出联培感觉不适应怎么办 +3 全村的狗 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:44 by 328838485
[考研] 349求调剂 +6 zwjjjjjj 2026-03-31 6/300 2026-04-01 09:16 by JourneyLucky
[考研] 本2一志愿C9-333分,材料科学与工程,求调剂 +9 升升不降 2026-03-31 9/450 2026-03-31 18:01 by 无际的草原
[考研] 08开头看过来!!! +3 wwwwffffff 2026-03-31 5/250 2026-03-31 17:45 by 星光/
[考研] 318求调剂 +10 陈晨79 2026-03-30 10/500 2026-03-31 17:37 by 544594351
[考研] 354求调剂 +3 lxb598 2026-03-31 4/200 2026-03-31 13:42 by sophie2180
[考博] 材料专业申博 +5 杜雨婷dyt 2026-03-29 5/250 2026-03-31 11:19 by oooqiao
[考研] 药学105500求调剂 +3 Ssun。。 2026-03-28 3/150 2026-03-28 11:24 by lxf170613
[考研] 08开头275求调剂 +4 拉谁不重要 2026-03-26 4/200 2026-03-27 14:12 by Delta2012
[考研] 调剂 +4 柚柚yoyo 2026-03-26 4/200 2026-03-26 20:43 by fmesaito
信息提示
请填处理意见