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ALD生长薄膜出现渐变色求助! 已有1人参与
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用ALD生长的hf0.5zr0.5o2,280℃的温度,长出来的薄膜在TiN上颜色不均匀,呈现紫色到金光的渐变色,这是为什么呀。同一批在Si上面生长的却很均匀,但看脸有时也不均匀,这是因为前驱体过多或没吹扫够吗?跪谢! @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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2楼2021-10-18 08:47:33
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3楼2021-10-18 14:37:57
4楼2021-10-18 18:17:07
5楼2021-10-18 18:17:40
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7楼2021-10-20 09:09:48













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我看他们不是经常有往孔洞里ald沉积的吗