应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » ALD生长薄膜出现渐变色求助！
71/1返回列表
查看: 1069  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者半导体奇才将赠送您 10 个金币

半导体奇才

新虫 (初入文坛)

[求助] ALD生长薄膜出现渐变色求助！ 已有1人参与

用ALD生长的hf0.5zr0.5o2，280℃的温度，长出来的薄膜在TiN上颜色不均匀，呈现紫色到金光的渐变色，这是为什么呀。同一批在Si上面生长的却很均匀，但看脸有时也不均匀，这是因为前驱体过多或没吹扫够吗？跪谢！

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-10-18 00:59:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yellow鑫

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片上均匀的话要考虑氮化钛的问题，首先要确定氮化钛是否均匀
赞一下 回复此楼
两肩如铁，胸襟似海。
2楼2021-10-18 08:47:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

辛苦的人

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-10-18 14:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yellow鑫 at 2021-10-18 08:47:33
硅片上均匀的话要考虑氮化钛的问题，首先要确定氮化钛是否均匀

TiN是我自己生长的，感觉厚度差距不会太大最多10nm，这个应该不会影响吧  我看他们不是经常有往孔洞里ald沉积的吗

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-10-18 18:17:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 辛苦的人 at 2021-10-18 14:37:57
样品问题，工艺应该没啥问题

您是说衬底还是前驱体呀。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2021-10-18 18:17:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

辛苦的人

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
6楼2021-10-18 19:30:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 辛苦的人 at 2021-10-18 19:30:56
衬底

我调整后，在TiN上生长也很均匀了，但是和硅片比颜色差距很大。  但我用高温胶带做遮挡留底电极的片子却没法长上去，您知道有什么可以做遮挡的办法吗？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
7楼2021-10-20 09:09:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 半导体奇才 的主题更新
71/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭