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[求助]
ALD生长薄膜出现渐变色求助！ 已有1人参与
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用ALD生长的hf0.5zr0.5o2，280℃的温度，长出来的薄膜在TiN上颜色不均匀，呈现紫色到金光的渐变色，这是为什么呀。同一批在Si上面生长的却很均匀，但看脸有时也不均匀，这是因为前驱体过多或没吹扫够吗？跪谢！ @hwweven 发自小木虫IOS客户端 |
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6楼2021-10-18 19:30:56
2楼2021-10-18 08:47:33
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3楼2021-10-18 14:37:57
我看他们不是经常有往孔洞里ald沉积的吗4楼2021-10-18 18:17:07