应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » ALD生长薄膜出现渐变色求助！
71/1返回列表
查看: 1045  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【悬赏金币】回答本帖问题，作者半导体奇才将赠送您 10 个金币

半导体奇才

新虫 (初入文坛)

[求助] ALD生长薄膜出现渐变色求助！ 已有1人参与

用ALD生长的hf0.5zr0.5o2，280℃的温度，长出来的薄膜在TiN上颜色不均匀，呈现紫色到金光的渐变色，这是为什么呀。同一批在Si上面生长的却很均匀，但看脸有时也不均匀，这是因为前驱体过多或没吹扫够吗？跪谢！

@hwweven 发自小木虫IOS客户端
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2021-10-18 00:59:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yellow鑫

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
硅片上均匀的话要考虑氮化钛的问题，首先要确定氮化钛是否均匀
赞一下 回复此楼
两肩如铁，胸襟似海。
2楼2021-10-18 08:47:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

辛苦的人

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2021-10-18 14:37:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yellow鑫 at 2021-10-18 08:47:33
硅片上均匀的话要考虑氮化钛的问题，首先要确定氮化钛是否均匀

TiN是我自己生长的，感觉厚度差距不会太大最多10nm，这个应该不会影响吧  我看他们不是经常有往孔洞里ald沉积的吗

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
4楼2021-10-18 18:17:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 辛苦的人 at 2021-10-18 14:37:57
样品问题，工艺应该没啥问题

您是说衬底还是前驱体呀。

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
5楼2021-10-18 18:17:40
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

辛苦的人

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
6楼2021-10-18 19:30:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

半导体奇才

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 辛苦的人 at 2021-10-18 19:30:56
衬底

我调整后，在TiN上生长也很均匀了，但是和硅片比颜色差距很大。  但我用高温胶带做遮挡留底电极的片子却没法长上去，您知道有什么可以做遮挡的办法吗？

发自小木虫IOS客户端
赞一下 回复此楼
7楼2021-10-20 09:09:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 半导体奇才 的主题更新
71/1返回列表
不应助 确定回帖应助 (注意：应助才可能被奖励，但不允许灌水，必须填写15个字符以上)
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-10-01 09:23 by Equinoxhua
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 4/200 2026-09-30 16:45 by Z9YWQ5EAO3qp
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 6/300 2026-09-30 16:26 by Z9YWQ5EAO3qp
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 cqwQDCxMcL3I 2026-09-29 4/200 2026-09-30 13:35 by C3vABopYbZJS
[教师之家] 某top大学教授说“能够在市场中兑现的能力才是真能力”无比同意！ +10 zju2000 2026-09-26 13/650 2026-09-30 10:26 by yexuqing
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:47 by yCO1Ll7aHtsw
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 4/200 2026-09-29 16:37 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:03 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 15:04 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:58 by etmYJ6d2rquH
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:41 by etmYJ6d2rquH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:13 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-29 13:50 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 09:59 by JzYBbHIXWSrW
[教师之家] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 4/200 2026-09-29 09:49 by JzYBbHIXWSrW
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:28 by ZvyPK8n6Nfki
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭